--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.1nm
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀設計簡潔、用途多樣,能夠測量不同的材質、結構、表面粗糙度和波度,涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。
白光干涉儀應用操作步驟:
1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2. 將夾具放置在載物臺上;
3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認儀器狀態(tài);
4. 使用操縱桿調節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5. 完成掃描設置和命名等操作;
6. 點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);
7. 進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“去除外形",采用默認參數(shù),點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8. 進入分析工具模塊,點擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點擊右側參數(shù)標準可更換參數(shù)標準,增刪參數(shù)類型;
9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10. 進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“提取剖面"圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提?。?/p>
11. 進入分析工具界面,點擊“參數(shù)分析"圖標,點擊右側參數(shù)標準,勾選所需線粗糙度相關參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
白光干涉儀的應用場景一:超光滑的弧形表面
上圖是一款旋轉拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現(xiàn)有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描, 重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀的應用場景二:粗糙的特征表面
上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點,而圓環(huán)外呈高反射率特點,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。
根據(jù)客戶精度要求,可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節(jié)。
為你推薦
-
一鍵快速尺寸測量儀2024-09-20 14:10
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
三次元橋式精密坐標測量儀2024-09-20 14:08
產(chǎn)品型號:Mars575 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
全自動高精度影像測量儀2024-09-20 14:07
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)2024-09-20 14:06
產(chǎn)品型號:SJ6000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
中圖國產(chǎn)臺階儀2024-09-20 14:04
產(chǎn)品型號:NS2000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
晶圓表面粗糙度測量儀器2024-09-20 14:00
產(chǎn)品型號:WD4000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
光學快速聚焦三維3D輪廓儀2024-09-19 13:50
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度數(shù)控三坐標測量機2024-09-19 13:48
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
接觸式凸度輪廓檢測儀2024-09-19 11:41
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
半導體晶圓形貌檢測機2024-09-19 11:39
產(chǎn)品型號:WD4000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
激光跟蹤儀在火車軌道檢測中的應用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光電科技的璀璨盛宴即將開啟2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應用-精確到微米的大空間尺度測量2024-09-05 08:02
-
機床性能優(yōu)化:校準補償系統(tǒng)在故障診斷與預防性維護的應用2024-08-30 16:51
激光干涉儀和機床測頭是機床校準補償系統(tǒng)中的關鍵組件,它們在確保機床精度和性能方面發(fā)揮著重要作用。激光干涉儀是一種高精度測量設備,采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量,可以測量機床的線性定位精度、重復定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊,能夠自動補償激光波長和材料特性,從而確保測量結果的準確性。此外,激光干涉儀還能夠進行角度、直線度、垂直度、平行度、平541瀏覽量 -
復雜工件的高效測量方案:自動化三坐標測量與影像測量技術集成2024-08-30 16:49
-
精密制造新篇章:三坐標測量機綠色轉型下的高精度測量2024-08-30 16:47
-
激光跟蹤儀:提升大型龍門機床裝調精度及效率2024-08-30 12:08
-
“軟件即儀器”——全新架構 Xtreme Vision顯微測量軟件平臺2024-08-30 12:08
-
金秋九月,芝加哥機床展&深圳光博會約定您2024-08-30 12:07
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
-
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
0次下載