--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
3d光學(xué)輪廓儀三維形貌一鍵測量,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。
SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
對兩臺階高的檢測
藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度
玻璃屏表面粗糙度檢測
3d光學(xué)輪廓儀三維形貌一鍵測量,主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
SuperView1光學(xué)3D表面輪廓儀參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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