--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器3D光學(xué)檢測設(shè)備采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其3D重建算法,自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別,讓3D測量變得簡單。
產(chǎn)品功能
1)中圖儀器3D光學(xué)檢測設(shè)備設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品特點
1、參數(shù)測量:粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積;
2、環(huán)境噪聲檢測:實時監(jiān)測,納米波動,也無可藏匿;
3、雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石”也能安然無恙;
4、自動拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫”;
5、雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動”。
中圖儀器3D光學(xué)檢測設(shè)備讓輪廓測量價格更為實惠,分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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