--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 外形尺寸 900x700x604mm
- 測量范圍 140x110x100mm
- 用途 測量精密工件的微觀形貌
- 臺階測量準確度 0.3%
- 臺階測量重復(fù)性 0.08% 1σ
- 粗糙度RMS重復(fù)性 0.005nm
--- 數(shù)據(jù)手冊 ---
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
3d光學(xué)輪廓儀工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀,但橫向測試范圍,縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中,3D AOI(自動光學(xué)檢測)是對傳統(tǒng)精密加工上的升級,彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改進設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。3d光學(xué)輪廓儀工作原理是基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的,能以非接觸的方式,無損檢測精密機械加工表面,檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示,能直觀地展示了表面紋理特征。
如表面粗糙度的測量。表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣,是表面微觀幾何特征,它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。表面二維形貌特征的分析與評定通常是對粗糙度參數(shù)進行的評定,通常把小于lmm波距的形貌特征歸結(jié)為表面粗糙度,而波距在1 ~10mm之間的定義為表面波紋度,大于10mm的則屬于目測可知的宏觀幾何形狀特征。
SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀測量表面粗糙度步驟很簡單。
1、將樣品放置在載物臺鏡頭下方;
2、檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認儀器狀態(tài);
3、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;
4、完成掃描設(shè)置和命名等操作,點擊開始測量;
5、進入數(shù)據(jù)處理模塊,點擊校平,平面樣品采用默認校平,點擊右下角應(yīng)用保存操作;
6、進入分析工具模塊,點擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點擊右側(cè)參數(shù)標準可更換參數(shù)標準、增刪參數(shù)類型;
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
8、進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊提取剖面圖標,選擇斜線,沿垂直于紋理方向提取剖面線;
9、進入分析工具界面,點擊參數(shù)分析圖標,點擊右側(cè)參數(shù)標準,勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
在生產(chǎn)中,微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響,為了能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量,表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在3D測量領(lǐng)域,3d光學(xué)輪廓儀是精度最高的測量儀器之一,測量精度可以達到納米級。
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