--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
產(chǎn)品功能
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量配置及使用方法
線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改指運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
線性測量應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項:
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
為你推薦
-
一鍵快速尺寸測量儀2024-09-20 14:10
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
三次元橋式精密坐標測量儀2024-09-20 14:08
產(chǎn)品型號:Mars575 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
全自動高精度影像測量儀2024-09-20 14:07
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)2024-09-20 14:06
產(chǎn)品型號:SJ6000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
中圖國產(chǎn)臺階儀2024-09-20 14:04
產(chǎn)品型號:NS2000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
晶圓表面粗糙度測量儀器2024-09-20 14:00
產(chǎn)品型號:WD4000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
光學快速聚焦三維3D輪廓儀2024-09-19 13:50
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度數(shù)控三坐標測量機2024-09-19 13:48
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
接觸式凸度輪廓檢測儀2024-09-19 11:41
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
半導體晶圓形貌檢測機2024-09-19 11:39
產(chǎn)品型號:WD4000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
激光跟蹤儀在火車軌道檢測中的應(yīng)用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光電科技的璀璨盛宴即將開啟2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應(yīng)用-精確到微米的大空間尺度測量2024-09-05 08:02
-
機床性能優(yōu)化:校準補償系統(tǒng)在故障診斷與預防性維護的應(yīng)用2024-08-30 16:51
激光干涉儀和機床測頭是機床校準補償系統(tǒng)中的關(guān)鍵組件,它們在確保機床精度和性能方面發(fā)揮著重要作用。激光干涉儀是一種高精度測量設(shè)備,采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量,可以測量機床的線性定位精度、重復定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊,能夠自動補償激光波長和材料特性,從而確保測量結(jié)果的準確性。此外,激光干涉儀還能夠進行角度、直線度、垂直度、平行度、平539瀏覽量 -
復雜工件的高效測量方案:自動化三坐標測量與影像測量技術(shù)集成2024-08-30 16:49
-
精密制造新篇章:三坐標測量機綠色轉(zhuǎn)型下的高精度測量2024-08-30 16:47
在當今快速發(fā)展的工業(yè)制造領(lǐng)域,精度和效率是企業(yè)競爭力的關(guān)鍵。隨著全球經(jīng)濟的逐步復蘇和數(shù)字化轉(zhuǎn)型的推進,制造業(yè)對于高精度測量設(shè)備的需求日益增長。在這樣的背景下,"三坐標測量機"作為精密測量的代表,其重要性愈發(fā)凸顯。而"豐富產(chǎn)品線搭配"則為企業(yè)提供了多樣化的選擇,以適應(yīng)不同場景和需求。此外,隨著全球?qū)τ诳沙掷m(xù)發(fā)展和環(huán)保的重視,綠色制造成為新的工業(yè)趨勢。在這一背景 -
激光跟蹤儀:提升大型龍門機床裝調(diào)精度及效率2024-08-30 12:08
-
“軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測量軟件平臺2024-08-30 12:08
-
金秋九月,芝加哥機床展&深圳光博會約定您2024-08-30 12:07
-
如何測曲面粗糙度:一體型輪廓儀提供精確的測量解決方案2024-08-15 16:06
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
-
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:58
0次下載