--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器三維光學(xué)檢測儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的表面輪廓形貌測量儀。它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等領(lǐng)域。
主要測量功能
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。
部分參數(shù)
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm
表面形貌重復(fù)性:0.1nm
臺階測量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%
中圖儀器三維光學(xué)檢測儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,并通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。測量結(jié)果依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
為你推薦
-
白光干涉3D光學(xué)輪廓儀2024-09-26 16:29
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度三坐標(biāo)三維測量機2024-09-26 16:28
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
2.5次元輪廓尺寸影像測量儀2024-09-26 16:26
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
全自動零件尺寸閃測儀2024-09-26 16:25
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度精密長度尺寸測量機2024-09-26 16:21
產(chǎn)品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
表面粗糙度輪廓形狀測量機2024-09-26 16:19
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
共聚焦光學(xué)類測量顯微鏡2024-09-25 14:17
產(chǎn)品型號:VT6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
光柵式精密測量測長機2024-09-25 14:15
產(chǎn)品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
精密輪廓尺寸全自動影像儀2024-09-25 14:14
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
立式一鍵快速閃測儀2024-09-25 14:11
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
灣區(qū)行|張鵬:在“痛并快樂著”的科研道路上不斷前行2024-09-26 08:03
-
CEM3000系列臺式掃描電鏡:臺式電鏡領(lǐng)域的又一“中國神話”2024-09-26 08:03
-
激光跟蹤儀在火車軌道檢測中的應(yīng)用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光電科技的璀璨盛宴即將開啟2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應(yīng)用-精確到微米的大空間尺度測量2024-09-05 08:02
-
機床性能優(yōu)化:校準(zhǔn)補償系統(tǒng)在故障診斷與預(yù)防性維護的應(yīng)用2024-08-30 16:51
激光干涉儀和機床測頭是機床校準(zhǔn)補償系統(tǒng)中的關(guān)鍵組件,它們在確保機床精度和性能方面發(fā)揮著重要作用。激光干涉儀是一種高精度測量設(shè)備,采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量,可以測量機床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊,能夠自動補償激光波長和材料特性,從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。此外,激光干涉儀還能夠進行角度、直線度、垂直度、平行度、平565瀏覽量 -
復(fù)雜工件的高效測量方案:自動化三坐標(biāo)測量與影像測量技術(shù)集成2024-08-30 16:49
在現(xiàn)代制造業(yè)的快速發(fā)展中,復(fù)雜工件的精密測量成為了質(zhì)量控制的關(guān)鍵。隨著工業(yè)4.0的推進,自動化技術(shù)與精密測量設(shè)備的結(jié)合,為生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的提升提供了新的解決方案。全自動化三坐標(biāo)測量站全自動化三坐標(biāo)測量站的核心設(shè)備三坐標(biāo)測量機通過探針在X、Y、Z三個坐標(biāo)軸上的精確移動,實現(xiàn)物體幾何尺寸和形狀的微米級測量精度。中圖儀器的三坐標(biāo)測量機,配備高精度傳感器和先進控395瀏覽量 -
精密制造新篇章:三坐標(biāo)測量機綠色轉(zhuǎn)型下的高精度測量2024-08-30 16:47
在當(dāng)今快速發(fā)展的工業(yè)制造領(lǐng)域,精度和效率是企業(yè)競爭力的關(guān)鍵。隨著全球經(jīng)濟的逐步復(fù)蘇和數(shù)字化轉(zhuǎn)型的推進,制造業(yè)對于高精度測量設(shè)備的需求日益增長。在這樣的背景下,"三坐標(biāo)測量機"作為精密測量的代表,其重要性愈發(fā)凸顯。而"豐富產(chǎn)品線搭配"則為企業(yè)提供了多樣化的選擇,以適應(yīng)不同場景和需求。此外,隨著全球?qū)τ诳沙掷m(xù)發(fā)展和環(huán)保的重視,綠色制造成為新的工業(yè)趨勢。在這一背景399瀏覽量 -
激光跟蹤儀:提升大型龍門機床裝調(diào)精度及效率2024-08-30 12:08
-
“軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測量軟件平臺2024-08-30 12:08
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學(xué)研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導(dǎo)體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
-
上傳時間:2024-06-07 09:33
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
-
上傳時間:2024-05-28 09:58
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:55
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:53