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上海屹持光電技術(shù)有限公司

紅外觀察儀、飛秒激光器、太赫茲相機、太赫茲光譜儀  

213 內(nèi)容數(shù) 2.8w 瀏覽量 7 粉絲

硅片厚度測量儀SIT-200

型號： SIT-200

--- 產(chǎn)品詳情 ---

硅片厚度測量儀SIT-200

硅片厚度測量儀（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進行檢測。

 

產(chǎn)品特點：

l  全光學(xué)，非接觸硅片厚度測試

l  高動態(tài)范圍測量粗糙表面

l  濕法刻蝕過程中實時測量

高靈敏度         高精度           快速測量        遠程控制

結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200 

                                

產(chǎn)品參數(shù)：

測量目標

硅片

測量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm掃描

功率

0.6mw，Class1

指示光源

紅光，Class1M

測量時間

20ms

重復(fù)性

0.1μm

輸出監(jiān)控

干擾信號（電學(xué)）

PC接口

網(wǎng)口

供電

100-240V，50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

上海屹持光電技術(shù)有限公司

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