--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 品牌 中圖儀器
- 型號 VT6100
- 測量原理 共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
- 顯微物鏡 10×;20×;50×;100×
- 高度測量精度 0.2μm
- 寬度測量精度 2%
- 注釋 更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器VT6000系列激光3D測量共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
如激光3D測量共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率,通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率,軟件自動捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快速測量,從而更加有效的對晶圓表面進(jìn)行檢測和質(zhì)量控制。
在對晶圓進(jìn)行激光切割的過程中,需要進(jìn)行精準(zhǔn)定位,以此來保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開出溝槽,通常由切割槽的深度和寬度來衡量晶圓分割的質(zhì)量。VT6000系列共聚焦顯微鏡,其以共聚焦技術(shù)為原理,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動測量功能,能夠快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息。
VT6000系列激光3D測量共聚焦顯微鏡產(chǎn)品功能:
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)設(shè)備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;
3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;
技術(shù)指標(biāo)
型號:VT6100
測量原理:共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
光源:白光LED
行程范圍:100*100*100mm
視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
為你推薦
-
一鍵快速尺寸測量儀2024-09-20 14:10
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
三次元橋式精密坐標(biāo)測量儀2024-09-20 14:08
產(chǎn)品型號:Mars575 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
全自動高精度影像測量儀2024-09-20 14:07
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)2024-09-20 14:06
產(chǎn)品型號:SJ6000 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
中圖國產(chǎn)臺階儀2024-09-20 14:04
產(chǎn)品型號:NS2000 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
晶圓表面粗糙度測量儀器2024-09-20 14:00
產(chǎn)品型號:WD4000 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
光學(xué)快速聚焦三維3D輪廓儀2024-09-19 13:50
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度數(shù)控三坐標(biāo)測量機(jī)2024-09-19 13:48
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
接觸式凸度輪廓檢測儀2024-09-19 11:41
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
半導(dǎo)體晶圓形貌檢測機(jī)2024-09-19 11:39
產(chǎn)品型號:WD4000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
激光跟蹤儀在火車軌道檢測中的應(yīng)用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光電科技的璀璨盛宴即將開啟2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應(yīng)用-精確到微米的大空間尺度測量2024-09-05 08:02
-
機(jī)床性能優(yōu)化:校準(zhǔn)補(bǔ)償系統(tǒng)在故障診斷與預(yù)防性維護(hù)的應(yīng)用2024-08-30 16:51
激光干涉儀和機(jī)床測頭是機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償系統(tǒng)中的關(guān)鍵組件,它們在確保機(jī)床精度和性能方面發(fā)揮著重要作用。激光干涉儀是一種高精度測量設(shè)備,采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線性測量,可以測量機(jī)床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊,能夠自動補(bǔ)償激光波長和材料特性,從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。此外,激光干涉儀還能夠進(jìn)行角度、直線度、垂直度、平行度、平530瀏覽量 -
復(fù)雜工件的高效測量方案:自動化三坐標(biāo)測量與影像測量技術(shù)集成2024-08-30 16:49
在現(xiàn)代制造業(yè)的快速發(fā)展中,復(fù)雜工件的精密測量成為了質(zhì)量控制的關(guān)鍵。隨著工業(yè)4.0的推進(jìn),自動化技術(shù)與精密測量設(shè)備的結(jié)合,為生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的提升提供了新的解決方案。全自動化三坐標(biāo)測量站全自動化三坐標(biāo)測量站的核心設(shè)備三坐標(biāo)測量機(jī)通過探針在X、Y、Z三個坐標(biāo)軸上的精確移動,實現(xiàn)物體幾何尺寸和形狀的微米級測量精度。中圖儀器的三坐標(biāo)測量機(jī),配備高精度傳感器和先進(jìn)控366瀏覽量 -
精密制造新篇章:三坐標(biāo)測量機(jī)綠色轉(zhuǎn)型下的高精度測量2024-08-30 16:47
在當(dāng)今快速發(fā)展的工業(yè)制造領(lǐng)域,精度和效率是企業(yè)競爭力的關(guān)鍵。隨著全球經(jīng)濟(jì)的逐步復(fù)蘇和數(shù)字化轉(zhuǎn)型的推進(jìn),制造業(yè)對于高精度測量設(shè)備的需求日益增長。在這樣的背景下,"三坐標(biāo)測量機(jī)"作為精密測量的代表,其重要性愈發(fā)凸顯。而"豐富產(chǎn)品線搭配"則為企業(yè)提供了多樣化的選擇,以適應(yīng)不同場景和需求。此外,隨著全球?qū)τ诳沙掷m(xù)發(fā)展和環(huán)保的重視,綠色制造成為新的工業(yè)趨勢。在這一背景369瀏覽量 -
激光跟蹤儀:提升大型龍門機(jī)床裝調(diào)精度及效率2024-08-30 12:08
-
“軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測量軟件平臺2024-08-30 12:08
-
金秋九月,芝加哥機(jī)床展&深圳光博會約定您2024-08-30 12:07
-
如何測曲面粗糙度:一體型輪廓儀提供精確的測量解決方案2024-08-15 16:06
在航空航天、汽車制造、醫(yī)療器械等高端制造領(lǐng)域,曲面零件的加工精度直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。例如,飛機(jī)發(fā)動機(jī)的葉片曲面粗糙度直接影響到發(fā)動機(jī)的效率和壽命。隨著全球?qū)τ诳沙掷m(xù)發(fā)展和綠色能源的重視,高效能、長壽命的發(fā)動機(jī)需求日益增長,這就需要更高精度的測量工具來確保產(chǎn)品質(zhì)量。SJ5800一體型輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng),結(jié)合超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌和
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機(jī)實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機(jī)床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
激光干涉儀檢測機(jī)床的方法(以線性檢測為例)1.進(jìn)行線性測量的一般步驟(1)安裝設(shè)置激光干涉儀(2)將激光束與被測量的軸校準(zhǔn)(3)啟動測量軟件,并輸入相關(guān)參數(shù)(如材料膨脹系數(shù))。(4)在機(jī)床上輸入測量程序,啟動干涉儀測量,并記錄數(shù)據(jù)。(5)用測量軟件分析測量數(shù)據(jù),生產(chǎn)補(bǔ)償文件。線性測量應(yīng)用2.光束快速準(zhǔn)直步驟(1)沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。(2)移動機(jī)床工作臺,當(dāng)光束離開光靶外圓時停止移動,垂 -
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學(xué)研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進(jìn)封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導(dǎo)體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機(jī)床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
機(jī)床測頭是一種可安裝在大多數(shù)數(shù)控機(jī)床上,并在加工循環(huán)中自動對工件的尺寸及位置進(jìn)行測量的裝置,使用合適的測量程序,還可以根據(jù)測量結(jié)果實現(xiàn)自動刀路補(bǔ)償,是生產(chǎn)加工中的重要質(zhì)量控制手段。在新能源汽車電池組件加工過程中,PO系列機(jī)床測頭能夠有效提升產(chǎn)品合格率、提高自動化程度,為企業(yè)降本增效。1、新能源汽車電池組件——電池包外殼客戶簡介:華南地區(qū)某客戶,主要生產(chǎn)新能源汽車動力電池組,該產(chǎn)品使用了大型的龍門銑
-
上傳時間:2024-06-07 09:33
-
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
-
上傳時間:2024-05-28 09:58
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:55
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:53