--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學干涉原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域,用于表面形貌紋理,微觀結構分析。測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
產(chǎn)品功能
1)中圖白光干涉儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
性能參數(shù)
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
標準視場 | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×) | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
形貌重復性 | 0.1nm | |
粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | |
臺階測量 | 準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ) | |
可測樣品反射率 | 0.05%~100% | |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
性能特色
1、高精度、高重復性
1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;
2、環(huán)境噪聲檢測功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
白光干涉儀采用的光學非接觸式測量方法,以及具有的測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點,加上其光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。中圖白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。
為你推薦
-
一鍵快速尺寸測量儀2024-09-20 14:10
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
三次元橋式精密坐標測量儀2024-09-20 14:08
產(chǎn)品型號:Mars575 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
全自動高精度影像測量儀2024-09-20 14:07
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)2024-09-20 14:06
產(chǎn)品型號:SJ6000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
中圖國產(chǎn)臺階儀2024-09-20 14:04
產(chǎn)品型號:NS2000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
晶圓表面粗糙度測量儀器2024-09-20 14:00
產(chǎn)品型號:WD4000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
光學快速聚焦三維3D輪廓儀2024-09-19 13:50
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度數(shù)控三坐標測量機2024-09-19 13:48
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
接觸式凸度輪廓檢測儀2024-09-19 11:41
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
半導體晶圓形貌檢測機2024-09-19 11:39
產(chǎn)品型號:WD4000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
激光跟蹤儀在火車軌道檢測中的應用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光電科技的璀璨盛宴即將開啟2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應用-精確到微米的大空間尺度測量2024-09-05 08:02
-
機床性能優(yōu)化:校準補償系統(tǒng)在故障診斷與預防性維護的應用2024-08-30 16:51
激光干涉儀和機床測頭是機床校準補償系統(tǒng)中的關鍵組件,它們在確保機床精度和性能方面發(fā)揮著重要作用。激光干涉儀是一種高精度測量設備,采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量,可以測量機床的線性定位精度、重復定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊,能夠自動補償激光波長和材料特性,從而確保測量結果的準確性。此外,激光干涉儀還能夠進行角度、直線度、垂直度、平行度、平539瀏覽量 -
復雜工件的高效測量方案:自動化三坐標測量與影像測量技術集成2024-08-30 16:49
-
精密制造新篇章:三坐標測量機綠色轉型下的高精度測量2024-08-30 16:47
-
激光跟蹤儀:提升大型龍門機床裝調(diào)精度及效率2024-08-30 12:08
-
“軟件即儀器”——全新架構 Xtreme Vision顯微測量軟件平臺2024-08-30 12:08
-
金秋九月,芝加哥機床展&深圳光博會約定您2024-08-30 12:07
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
-
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
0次下載