荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
產(chǎn)品介紹：
ISTEQ公司開(kāi)發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無(wú)需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長(zhǎng)。
ISTEQ公司為L(zhǎng)PP光源開(kāi)發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開(kāi)發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在全球范圍內(nèi)獲得專利。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
·高亮度以及出色的穩(wěn)定性
·最少的碎片
·極高的正常運(yùn)行時(shí)間
·高占空比和交鑰匙操作
·用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒(méi)有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。
產(chǎn)品應(yīng)用：
·掩模和表面檢查：
·圖案掩模檢測(cè) (PMI)
·區(qū)域掩模檢測(cè) (AIMS)
·掩?？瞻讬z測(cè) (MBI)
·EUV 掃描儀檢
·材料科學(xué)
·晶圓檢查
TEUS 系列激光等離子體光源 |
型號(hào)參數(shù)：
型號(hào) | TEUS S-100 | TEUS S-200 | TEUS S-400 |
激光平均功率W | 100 | 200 | 400 |
脈沖重頻 kHz | 25或70 | 50或135（可調(diào)） | 100或200（可調(diào)） |
EUV功率立體角 sr | 0.05 | ||
等離子體尺寸 μm | ≤ 60或 ≤ 40 | ≤ 60或 ≤ 45 | |
帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5 nm±1%) | 2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr | ||
碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量mW | 11 或 9 | 22 或 18 | 44 或 40 |
碎片處理系統(tǒng)后光譜亮度W/mm2·sr | ≥ 80或 ≥ 140 | ≥ 160或 ≥ 280 | ≥ 310或 ≥ 500 |
等離子體穩(wěn)定性 | 3% rms | ||
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，在不使用特殊膜過(guò)濾器情況下，收集器壽命下降10% | 不少于8個(gè)月 | 不少于4個(gè)月 | 不少于2個(gè)月 |
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，使用特殊膜過(guò)濾器情況下，收集器壽命下降10% | 不少于18個(gè)月 | 不少于9個(gè)月 | 不少于4個(gè)月 |
維護(hù)時(shí)間間隔 | 4 個(gè)月 - 1 天 | 3個(gè)月 - 2天 | 2個(gè)月 - 1天 |
24/7 運(yùn)行模式下的正常運(yùn)行時(shí)間*** | 4個(gè)月 | 3個(gè)月 | 1個(gè)月 |
電源 | 5 kW | 8.5 kW | 10.5 kW |
尺寸（長(zhǎng)×寬×高）mm | 1500×1000×1200 | ||
重量，包括激光組件 kg | 770 | ||
房間潔凈度等級(jí) | ISO 7 | ||
水流量 | 10升/分鐘 | 15升/分鐘 | 25升/分鐘 |
