--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
光學(xué)輪廓儀SuperViewW1集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測量精度和測量重復(fù)性。
雙重防撞保護措施
(1)軟件防撞保護ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運動到該位置時,就立刻停止不再向下運動,起到保護樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設(shè)備和產(chǎn)品,也守護每一分價值和信任。
產(chǎn)品功能
1)光學(xué)輪廓儀SuperViewW1設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應(yīng)用范例
光學(xué)輪廓儀SuperViewW1可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
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