--- 產品參數 ---
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--- 產品詳情 ---
SuperViewW1國產白光干涉顯微鏡以白光干涉技術為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
產品功能
(1)SuperViewW1國產白光干涉顯微鏡設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
SuperViewW1國產白光干涉顯微鏡用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
應用行業(yè)
可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等。
應用領域
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例
自動拼接功能特點
根據精度要求,SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節(jié)。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度時,表面較為粗糙且定測量區(qū)域情況下,可使用高速FVSI算法,并在拼接測量設定時,使用地圖導航功能,在掃描時即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量。
SuperviewW1白光干涉儀自動拼接測量功能不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結構,當要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,可以根據不同表面特點進行重建算法的切換。
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