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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>快速熱處理溫度控制器的設(shè)計

      快速熱處理溫度控制器的設(shè)計

      2011-04-02 | pdf | 209 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　傳統(tǒng)的熱處理方法是將很多硅片垂直排列在石英舟上/ 放進電阻爐加熱/ 這種技術(shù)很難避免基片變形"由于石英舟和眾多的硅片熱容量較大/ 需要長的升溫和降溫時間/ 這種方法熱存積即溫度和時間的乘積很大而難于接受" 因為當(dāng)在硅片上形成集成電路時需要進

      　　行熱處理/ 熱處理時基片上形成電路所使用的不同材料趨向擴散/ 降低了基片的性能和可靠性/ 因這種擴散最終限制了可能獲得最小電路的性能尺寸" 擴散依賴熱存積/ 因此降低熱處理過程的熱存積將能得到越來越小的元件

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