光刻機(jī)劑量控制器結(jié)構(gòu)與深紫外準(zhǔn)分子激光實(shí)時(shí)曝光劑量控制算法研究
資料介紹
光刻機(jī)掃描曝光模型
掃描曝光過(guò)程的抽象模型如圖 1 所示 。激光器發(fā)出的脈沖光束經(jīng)過(guò)光路傳輸系統(tǒng), 從開(kāi)口大小可調(diào)的狹縫中投影到工件臺(tái)上, 形成投影光斑 。當(dāng)曝光場(chǎng)前沿與光斑前沿重合時(shí) ,掃描開(kāi)始;此后曝光場(chǎng)勻速經(jīng)過(guò)投影光斑;當(dāng)曝光場(chǎng)后沿與光斑后沿重合時(shí) ,掃描結(jié)束 。
光刻機(jī)劑量控制器結(jié)構(gòu)
掃描投影光刻機(jī)劑量控制系統(tǒng)如圖 2 所示 ,從準(zhǔn)分子激光器發(fā)出的脈沖激光, 先經(jīng)過(guò)底端照明光路(包括光束擴(kuò)充鏡組、定位 定向鏡組、縮放 錐形鏡組等)和可變透過(guò)率衰減片, 到達(dá)能量傳感器, 再經(jīng)過(guò)頂端照明光路(包括光能量均勻棒 、掃描狹縫、照明鏡組等)、掩模版和投影物鏡, 最終投射到硅片表面。光路中安裝有一個(gè)能量傳感器, 測(cè)量每個(gè)激光脈沖的能量并結(jié)合實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)算法, 計(jì)算出下一個(gè)單脈沖能量的設(shè)定值;最后通過(guò)能量 電壓轉(zhuǎn)換關(guān)系將能量設(shè)定值轉(zhuǎn)換成電壓設(shè)定值, 以達(dá)到控制激光器單脈沖能量并保證劑量精度的目的 。
- 基于DSP TMS320C240的電壓解耦矢量控制系統(tǒng) 5次下載
- 如何使用FPGA實(shí)現(xiàn)矢量控制的高性能交流電機(jī)速度伺服控制器 9次下載
- 水利遠(yuǎn)程流量控制器 3次下載
- X射線(xiàn)劑量儀與電離室探測(cè)技術(shù)的診斷劑量檢測(cè)方法 14次下載
- 基于單元串聯(lián)的無(wú)速度傳感器矢量控制算法研究_黃哲 0次下載
- 統(tǒng)一電能質(zhì)量控制器并聯(lián)側(cè)的改進(jìn)雙滯環(huán)電流控制策略研究 1次下載
- SpaceWire總線(xiàn)的流量控制機(jī)制研究 0次下載
- 基于矢量控制的高性能交流電機(jī)速度伺服控制器的FPGA實(shí)現(xiàn) 26次下載
- 基于SVPWM的Vienna整流器矢量控制研究 18次下載
- 并聯(lián)型電能質(zhì)量控制器的SVPWM控制 15次下載
- 基于DSP的模糊PID矢量控制變頻器的研究 33次下載
- 基于DSP的數(shù)字電能質(zhì)量控制器設(shè)計(jì) 45次下載
- 多功能電量控制器的設(shè)計(jì)
- 掩模曝光劑量的精細(xì)控制工藝設(shè)計(jì)
- 基于 VSC 的并聯(lián)型電能質(zhì)量控制器控制方法的研究
- 變頻器矢量控制技術(shù)的特點(diǎn) 608次閱讀
- 矢量控制器與正弦波控制器的區(qū)別 2251次閱讀
- 深紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì) 807次閱讀
- 一文詳解光刻機(jī)的工作原理 31.2w次閱讀
- ASML光刻機(jī)的工作原理及關(guān)鍵技術(shù)解析 1w次閱讀
- 提高光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)及光刻機(jī)的發(fā)展情況 1.2w次閱讀
- 如何理解pcb鉆孔與紫外線(xiàn)的作用 3324次閱讀
- 氣體激光器有哪些_氣體激光器特點(diǎn) 1.1w次閱讀
- 靶式流量控制器結(jié)構(gòu)圖_靶式流量控制器的特點(diǎn) 3532次閱讀
- TDA7448音量控制器的特性及應(yīng)用 4543次閱讀
- 矢量控制與V/F控制詳解 4.4w次閱讀
- 光刻機(jī)價(jià)格多少_還有比光刻機(jī)更貴的設(shè)備嗎 3.6w次閱讀
- 一文解析刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的原理及區(qū)別 13.2w次閱讀
- 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)組成及工作原理 16.3w次閱讀
- 溫度測(cè)量控制電路 3037次閱讀
下載排行
本周
- 1TC358743XBG評(píng)估板參考手冊(cè)
- 1.36 MB | 330次下載 | 免費(fèi)
- 2開(kāi)關(guān)電源基礎(chǔ)知識(shí)
- 5.73 MB | 11次下載 | 免費(fèi)
- 3100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 4嵌入式linux-聊天程序設(shè)計(jì)
- 0.60 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
- 5DIY動(dòng)手組裝LED電子顯示屏
- 0.98 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
- 6基于FPGA的C8051F單片機(jī)開(kāi)發(fā)板設(shè)計(jì)
- 0.70 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 751單片機(jī)PM2.5檢測(cè)系統(tǒng)程序
- 0.83 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 8基于51單片機(jī)的RGB調(diào)色燈程序仿真
- 0.86 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費(fèi)
- 2555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33566次下載 | 免費(fèi)
- 3接口電路圖大全
- 未知 | 30323次下載 | 免費(fèi)
- 4開(kāi)關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
- 未知 | 21549次下載 | 免費(fèi)
- 5電氣工程師手冊(cè)免費(fèi)下載(新編第二版pdf電子書(shū))
- 0.00 MB | 15349次下載 | 免費(fèi)
- 6數(shù)字電路基礎(chǔ)pdf(下載)
- 未知 | 13750次下載 | 免費(fèi)
- 7電子制作實(shí)例集錦 下載
- 未知 | 8113次下載 | 免費(fèi)
- 8《LED驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)》 溫德?tīng)栔?/a>
- 0.00 MB | 6656次下載 | 免費(fèi)
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935054次下載 | 免費(fèi)
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
- 78.1 MB | 537797次下載 | 免費(fèi)
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420027次下載 | 免費(fèi)
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費(fèi)
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費(fèi)
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191186次下載 | 免費(fèi)
- 7十天學(xué)會(huì)AVR單片機(jī)與C語(yǔ)言視頻教程 下載
- 158M | 183279次下載 | 免費(fèi)
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
- 未知 | 138040次下載 | 免費(fèi)
評(píng)論
查看更多