光學(xué)差動(dòng)法內(nèi)反射原理實(shí)現(xiàn)二維小角度傳感器的詳細(xì)介紹
資料介紹
文中介紹基于光學(xué)差動(dòng)法內(nèi)反射原理的二維小角度傳感器,具有體積小、精度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、量程可調(diào)的特點(diǎn)。該傳感器可用于運(yùn)動(dòng)物體的在線姿態(tài)測(cè)量與控制,提高超精密驅(qū)動(dòng)及定位裝置的在線檢測(cè)水平。
傳感器基于內(nèi)反射原理,為提高分辨力采用偏光入射和光學(xué)差動(dòng)方法。假設(shè)入射光為P偏光,選定的初始入射中心角為。,設(shè)相對(duì)于。的變化量為△0,通過(guò)公式推導(dǎo),我們可以得到正規(guī)化的輸出為:
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