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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>無線通信>激光調(diào)制的可控大功率微波射頻源

      激光調(diào)制的可控大功率微波射頻源

      2009-10-23 | rar | 455 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      激光調(diào)制的可控大功率微波射頻源:本文研究了用于激光調(diào)制的可控大功率微波射頻源的設(shè)計(jì)技術(shù)及其實(shí)現(xiàn)技術(shù)。文中詳細(xì)闡述了大功率微波源的硬件實(shí)現(xiàn)技術(shù)、微波信號(hào)源的控制技術(shù)、自動(dòng)環(huán)路控制技術(shù)以及微波射頻功率和頻率的檢測(cè)技術(shù)，研制出了用于激光準(zhǔn)分子步進(jìn)投影掃描光刻機(jī)的自動(dòng)控制大功率微波源。所研制的微波射頻源的頻率調(diào)節(jié)范圍1700MHz到1800MHz,步進(jìn)200KHz，輸出功率調(diào)節(jié)范圍在15dBm到40dBm連續(xù)可調(diào)。該微波源已經(jīng)應(yīng)用于激光準(zhǔn)分子步進(jìn)投影掃描光刻機(jī)，實(shí)際應(yīng)用效果良好。
      關(guān)鍵詞： 大功率微波源，激光準(zhǔn)分子光刻機(jī)，功率檢測(cè)，頻率控制
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