資料介紹
從電路設(shè)計(jì)到芯片完成離不開(kāi)集成電路的制備工藝,本章主要介紹硅襯底上的CMOS集成電路制造的工藝過(guò)程。有些CMOS集成電路涉及到高壓MOS器件(例如平板顯示驅(qū)動(dòng)芯片、智能功率CMOS集成電路等),因此高低壓電路的兼容性就顯得十分重要,在本章最后將重點(diǎn)說(shuō)明高低壓兼容的CMOS工藝流程。
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