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本文簡(jiǎn)要介紹了一種采用微結(jié)構(gòu)平面螺旋線圈的新的ICP(電感耦合等離子體)光譜激發(fā)源。作者設(shè)計(jì)加工出的基于PCB(印刷電路板)鍍金工藝的微型ICP激發(fā)源在13.56MHz下成功啟燃，并給出了ICP火炬照片。詳細(xì)介紹了作者研制的微型ICP激發(fā)源的平面螺旋電感和交指電容的參數(shù)設(shè)計(jì)方法，給出了設(shè)計(jì)版圖和實(shí)物照片，微結(jié)構(gòu)線條寬度和間隙在數(shù)百微米量級(jí)。展望了平面螺旋電感和交指電容在微型ICP激發(fā)源的中的應(yīng)用前景。
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