資料介紹
針對光伏工業(yè)界對磷擴(kuò)散薄層電阻不斷提升的需求,采用了在磷擴(kuò)散工藝氣氛中增加水汽的方法進(jìn)行磷源擴(kuò)散制備高薄層電阻,并通過實驗對比兩種擴(kuò)散氣氛下的摻雜濃度,少子壽命等袁征。實驗結(jié)果表明:在相同薄層電阻條件下,水汽氣氛下?lián)诫s劑的表面濃度降低,耗盡層的復(fù)合率減小,間隙態(tài)的金屬雜質(zhì)濃度降低,硅基體的少子壽命從6.27Vs提升至7.16pdS。由于摻雜劑濃度分布得到改善,降低了硅片的表面復(fù)合率和結(jié)區(qū)光生載流子的俄歇復(fù)合,使得水汽氣氛擴(kuò)散后硅片制備的太陽電池,光電轉(zhuǎn)換效率提升0.1%。
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