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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>微小差分電容檢測(cè)電路設(shè)計(jì)

      微小差分電容檢測(cè)電路設(shè)計(jì)

      2010-04-30 | rar | 142 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      摘要：針對(duì)電容式MEMS器件，設(shè)計(jì)了一種用來(lái)檢測(cè)微小差分電容的電路，該電路主要有方波信號(hào)發(fā)生器、相敏解調(diào)和低通濾波電路等組成．具有抗干擾性能好、電路簡(jiǎn)單、易于集成的特點(diǎn)．通過(guò)主要器件——運(yùn)放的合理選擇，調(diào)試出較理想的結(jié)果．經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，其分辨率可達(dá)10的負(fù)16次方F．
      關(guān)鍵詞：差分電容；充放電；相敏解調(diào)
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