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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>一文讀懂HfTiO高柵介質(zhì)GeMOS電容

      一文讀懂HfTiO高柵介質(zhì)GeMOS電容

      2021-03-29 | rar | 1.58 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　采用反應(yīng)磁控濺射方法和濕氮退火工藝在Ge襯底上分別制備了HfO2和HfTiO高介電常數(shù)（k）柵介質(zhì)薄膜。電特性測量表明，HfTiO樣品由于Ti元素的引入有效提高了柵介質(zhì)的介電常數(shù)，減小了等效氧化物厚度，但同時也使界面態(tài)密度有所增加?？刂艸fTiO中Ti的含量及表面預(yù)處理工藝有望改善HfTiO/Ge界面質(zhì)量。

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