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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>白光干涉儀3D形貌測量之美

      白光干涉儀3D形貌測量之美

      2023-02-03 | docx | 3.80 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實現(xiàn)0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學測量儀器。

       

      白光干涉儀采用的光學輪廓測量法可以非接觸式測量非平坦樣品，輕松測量出彎曲和其他非平面表面，還可以測出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時不會像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。

       

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