激光干涉儀SJ6000應(yīng)用拓展：透鏡曲率半徑測量

透鏡是由透明物質(zhì)（如玻璃、水晶等）制成的一種光學(xué)元件，廣泛應(yīng)用于安防、車載、數(shù)碼相機、激光、光學(xué)儀器等各個領(lǐng)域。

曲率半徑是透鏡設(shè)計與制造的一個重要參數(shù)，在生產(chǎn)制造過程中常使用菲索型激光干涉儀通過測試干涉條紋，判定“貓眼”和共焦位置，并通過光柵尺或激光干涉（測距）儀，對位移變化記錄即可獲得透鏡的曲率半徑。

菲索型激光干涉儀測量透鏡曲率半徑的原理：

曲率半徑等于，“貓眼”至共焦位置（或者共焦至“貓眼”位置）的位移，加上干涉儀在兩個位置，根據(jù)干涉條紋測得精確位置補償，即R(曲率半徑)=Z(位移讀數(shù))+Z(貓眼位置補償)+Z(共焦位置補償)。

注：當(dāng)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡產(chǎn)生的激光波前，正好匯聚于球面上時，會產(chǎn)生特殊類似“貓眼”的條紋，所以稱這一位置為“貓眼”位置。

在實際測量過程中，傳統(tǒng)方法使用光柵尺來記錄位移變化，光柵尺的位移分辨率為0.1um，曲率半徑測量精度不高。

如今越來越多透鏡生產(chǎn)企業(yè)使用SJ6000激光干涉儀來測量位移。SJ6000激光干涉儀以氦氖激光器為光源發(fā)射出穩(wěn)定頻率的波長為長度基準(zhǔn)，激光穩(wěn)頻精度0.05ppm；以邁克爾遜干涉原理測量位移距離，測量分辨率1nm，遠遠高于光柵尺分辨率。

菲索型激光干涉儀測量曲率半徑過程中，SJ6000激光干涉儀反射鏡安裝在穩(wěn)定夾具上，高度與光源圓心等高，精準(zhǔn)記錄位移數(shù)據(jù)同時降低阿貝誤差，測得的曲率半徑值準(zhǔn)確度和一致性大幅提升。