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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>絕緣資料|化工資料>采用光電技術測量微細線寬的探討

      采用光電技術測量微細線寬的探討

      2009-06-26 | rar | 141 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      在顯微物鏡的成象光路中， 增加一塊振蕩反射鏡， 使被測縵寬的放大象相對窄縫描， 將光學邊界信息轉變?yōu)樘菪坞娒}沖。經(jīng)過電路處理。得到兩個史彤電脈沖。填充高頻矩形脈沖測量兩尖彤脈沖之間的時間問膈， 進而求得被劃線寬的寬度。推導7被測線寬與光學性能參數(shù)， 結構參數(shù)， 振蕩鰒率瞳及高額矩井；睬沖數(shù)之問的函數(shù)關系式。根據(jù)顯徽鏡的基本性能， 分析 影響測量誤差的各種因素， 并進行實倒計算。最后提出一個框圖， 說明線寬測量儀系兢中各功能之問的關系。

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