資料介紹
加速度計(jì)在很多市場中都有著重要的作用。智能手機(jī)中會(huì)用到加速度計(jì),汽車中也會(huì)用到加速度計(jì)。這一器件在醫(yī)療中的應(yīng)用也是與日俱增。測量速度的變化率似乎可以有無限的應(yīng)用。因此,根據(jù) Yole Développement 公司“2015 年 MEMS 行業(yè)狀態(tài)報(bào)告”顯示,MEMS 加速度計(jì)去年總計(jì)發(fā)貨超過 20 億臺(tái)并不足為奇。有很多設(shè)計(jì)技術(shù)可用來創(chuàng)建加速度計(jì)。其中一種常用的技術(shù)是制造具有彈簧懸掛質(zhì)量塊的 MEMS 器件(圖 1)。發(fā)生加速時(shí),質(zhì)量塊將會(huì)產(chǎn)生移動(dòng)進(jìn)而縮短固定齒和可動(dòng)齒之間的間隙,電容也相應(yīng)地發(fā)生變化。由于固定齒上加有電壓,當(dāng)質(zhì)量塊移動(dòng)時(shí),可動(dòng)齒會(huì)由于電容的變化產(chǎn)生電壓。測量該電壓即可確定加速度。然而,可動(dòng)部件會(huì)受到以下情況的影響:粘滯(兩個(gè)緊密相鄰的表面,如梳齒,彼此粘附)、振動(dòng)產(chǎn)生的誤差以及沖擊 (g-force) 導(dǎo)致的可動(dòng)部件的斷裂。
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