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      臥式熱壁型PECVD設(shè)備

      2009-12-18 | rar | 555 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      臥式熱壁型PECVD 設(shè)備
      北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司
      1、簡介
      我公司研制的臥式PECVD 設(shè)備專門應(yīng)用于太陽能電池制造領(lǐng)域中氮化硅薄膜的淀積工
      藝。由于PECVD 淀積氮化硅膜時,在生長氮化硅膜作為減反射膜的同時生成了大量的原子
      氫，這些氫原子不但具有表面鈍化作用，同時可以很好的鈍化硅中的位錯、表面懸掛鍵，從而提高硅片中載流子遷移率,具有體鈍化的作用?？梢詷O大的提高太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。是太陽能電池生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的設(shè)備之一。
      我公司生產(chǎn)的PECVD 由爐體機柜、電氣控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)
      和RF 電源等組成。采用工作站對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作，以及工作壓力等進行實行全自動控制；工藝穩(wěn)定，可靠性高，所淀積的氮化硅膜各項數(shù)據(jù)都符合太陽能電池制程的要求，達到了國際同類產(chǎn)品水平。
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