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論述了電子氣體輸送系統(tǒng)的各種技術現(xiàn)狀和特點，并就高純度、大流量、嚴格的安全
措施和大力降低建設成本四個方面預測了其發(fā)展趨勢。
關鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統(tǒng)，純度控制
1． 現(xiàn)狀
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
措施和大力降低建設成本四個方面預測了其發(fā)展趨勢。
關鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統(tǒng)，純度控制
1． 現(xiàn)狀
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
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