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離散半圓柱體電阻式氣體傳感器的研究_杜玉帥
氣體檢測(cè)技術(shù)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占有重要地位， 目前檢測(cè)氣體的方法和手段已經(jīng)非常多，主要包括電化學(xué)法、接觸燃燒法半導(dǎo)體氣體傳感器檢測(cè)法、光纖法，但是從材料的應(yīng)用范圍、普及程度以及實(shí)用性來看半導(dǎo)體氣體傳感器是應(yīng)用最廣泛的。半導(dǎo)體傳感器包括電租式氣體傳感器和非電租氣體傳感器， 電阻式是得用其阻值變化來檢測(cè)氣體濃度。由于電阻式半導(dǎo)體傳感器研究較早，到目前為止是應(yīng)用最廣泛的一種。電阻式半導(dǎo)體傳感器是用氧化錫、氧化鋅等金屬氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的變化來檢測(cè)氣體的濃度。隨著氣體傳感器的應(yīng)用越來越廣泛，對(duì)其性能要求也提高。在科技飛速發(fā)展的時(shí)代，對(duì)氣體的檢測(cè)與控制都很重要。氣體傳感器的一個(gè)重要指標(biāo)就是選擇性， 目前已經(jīng)有了可同時(shí)檢測(cè)多種可揮發(fā)性有機(jī)化合物氣體的傳感器，可方便的根據(jù)目標(biāo)氣體更換相應(yīng)敏感部件。但對(duì)于氣體傳感器響應(yīng)時(shí)間的研究較少， 因此本文提出了一種具有快速響應(yīng)的新型敏感結(jié)構(gòu)，根據(jù)擴(kuò)散理論分析了其響應(yīng)時(shí)間，并和傳統(tǒng)連續(xù)平面敏感結(jié)構(gòu)的氣體傳感器進(jìn)行性能比較。
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