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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>模擬數(shù)字論文>背面夾縫曝光的光學模擬及其實驗的詳細資料說明

      背面夾縫曝光的光學模擬及其實驗的詳細資料說明

      2019-05-24 | pdf | 0.33 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　背面夾縫曝光是利用光學衍射效應(yīng)來制備三維微結(jié)構(gòu)的新方法．采用 Ｍａｔｌａｂ對曝光時間和夾縫對三維ＳＵ－８結(jié)構(gòu)形貌的影響進行了模擬，并開展了相應(yīng)的實驗研究．結(jié)果表明：背面夾縫曝光是獲得三維微結(jié)構(gòu)的簡便方法．模擬與實驗揭示了相同的規(guī)律性，即微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁傾斜角度取決于夾縫大??；當夾縫不變時，微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁傾斜度不變，但微結(jié)構(gòu)的大小隨曝光時間而變化．

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