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運(yùn)用二元函數(shù)的泰勒展開式在給出壓阻式傳感器的應(yīng)變和溫度靈敏度的同時(shí)，也給出了應(yīng)變與溫度交叉靈敏度大小的公式，闡明了其物理意義，并結(jié)合實(shí)際測(cè)量數(shù)據(jù)估計(jì)了交叉靈敏度，對(duì)于實(shí)際使用傳感器并進(jìn)行補(bǔ)償具有一定的指導(dǎo)意義。
關(guān)鍵詞 壓阻式傳感器 應(yīng)變 溫度交叉 靈敏度
壓阻式傳感器的實(shí)際應(yīng)用已相當(dāng)普及。該傳感器除了具有很高的應(yīng)變靈敏度外，對(duì)于溫度也同樣非常靈敏，因而在實(shí)際應(yīng)用中要附加溫度補(bǔ)償。目前 補(bǔ) 償 的方法比較多，這些補(bǔ)償只能針對(duì)傳感器單獨(dú)由溫度變化而引起的誤差，即在同一傳感器上，在應(yīng)變與溫度同時(shí)存在時(shí)建立起一個(gè)應(yīng)變和溫度變化的線性方程組，但這個(gè)方程組是由泰勒展開式的線性項(xiàng)構(gòu)成的，只有近似的意義。忽略高階項(xiàng)必然帶來誤差，其中第一非線性交叉項(xiàng)一交叉靈敏度對(duì)于線性方程組的求解值與實(shí)際值間的誤差影響不能忽略，尤其在高精度條件下的測(cè)試。對(duì)于任何應(yīng)變和溫度變化情況下忽略交叉靈敏度將給線性近似方程組求解的值帶來多大的誤差尚未見定量分析的報(bào)道，而這種定量分析顯然又具有很重要的意義。本文就擬應(yīng)變和溫度的交叉靈敏度問題根據(jù)理論模型給出定量計(jì)算公式并結(jié)合實(shí)例進(jìn)行計(jì)算。
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