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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>微電子機(jī)械系統(tǒng)(M EM S)中的鐵電器件

      微電子機(jī)械系統(tǒng)(M EM S)中的鐵電器件

      2009-07-01 | rar | 177 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      提出了一種將鐵電材料與M EM S 集成的新趨勢(shì), 并介紹了幾種在這種趨勢(shì)下應(yīng)運(yùn)而生的最新的微傳感器和微執(zhí)行器。
      關(guān)鍵詞　M EM S　鐵電材料　微傳感器　微執(zhí)行器
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