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形狀記憶合金(SMA) 薄膜因其特有的形狀記憶合金效應(yīng)、超彈性行為以及薄膜材料所特有的優(yōu)越性能,而在微機(jī)電系統(tǒng)中的微驅(qū)動(dòng)器和微傳感器方面極具應(yīng)用潛力。本文主要介紹了以TiNi 基合金為主的形狀記憶合金薄膜在微驅(qū)動(dòng)器和微傳感器上的國(guó)內(nèi)外應(yīng)用性研究現(xiàn)狀,并展望了其未來的發(fā)展趨勢(shì)。
關(guān)鍵詞: 形狀記憶合金;形狀記憶效應(yīng);超彈性;微機(jī)電系統(tǒng);微驅(qū)動(dòng)器;微傳感器
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