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基于光纖傳感技術(shù)和三角測(cè)量方法,提出了一種用于曲面檢測(cè)的新型光纖三角傳感器。根據(jù)所設(shè)計(jì)的輪輻式接收光纖結(jié)構(gòu),可以在測(cè)量曲面與傳感頭間位移時(shí),首先獲取被測(cè)點(diǎn)處微面元的傾斜信息,以便對(duì)傳感器測(cè)量值進(jìn)行實(shí)時(shí)誤差修正,從而解決了被測(cè)表面傾斜對(duì)坐標(biāo)測(cè)量帶來的影響。該傳感器還能有效地消除環(huán)境光干擾、光源波動(dòng)、表面反射率變化等對(duì)測(cè)量帶來的影響。建立了傳感器測(cè)量的數(shù)學(xué)模型。理論分析和初步的實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了系統(tǒng)的有效性和實(shí)用性。該傳感器系統(tǒng)不穩(wěn)定性好于0. 3 % ,橫向分辨率好于8μm ,高度分辨率好于0. 1μm。
關(guān)鍵詞: 光纖傳感器; 三角測(cè)量法; 曲面測(cè)量; 精密工程
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