用Visual Basic 6.0編程實(shí)現(xiàn)顯微圖像測(cè)量

Visual Basic 6.0 具有強(qiáng)大的圖形圖像處理功能，并廣泛應(yīng)用于圖形設(shè)計(jì)、圖像處理及多媒體技術(shù)中。
本文著重介紹了Visual Basic 6.0 在實(shí)現(xiàn)顯微圖像測(cè)量中的編程技術(shù)，并應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片尺寸測(cè)量。
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體芯片，顯微技術(shù)，圖像測(cè)量， Visual Basic 6.0 編程
在信息時(shí)代，半導(dǎo)體集成器件制造業(yè)快速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體器件的檢測(cè)提出了越來(lái)越高的要求。其中顯微圖像的測(cè)量是一個(gè)關(guān)鍵問題。本文著重討論了Visual Basic 6.0 在實(shí)現(xiàn)顯微圖像測(cè)量中的編程技術(shù)。
Visual Basic 語(yǔ)言簡(jiǎn)單易學(xué)，其可視化的用戶界面設(shè)計(jì)功能，把程序設(shè)計(jì)人員從煩瑣復(fù)雜的界面設(shè)計(jì)中解脫出來(lái)。Visual Basic 6.0 通過大量的繪圖函數(shù)為圖形圖像處理提供了強(qiáng)大的功能，使得它在圖形圖像處理領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
顯微圖像的處理作為圖像處理領(lǐng)域的一個(gè)重要組成部分，不僅具有一般圖像處理的特
點(diǎn)，而且在圖像處理的內(nèi)容上更具自己的特色。這其中，對(duì)于整個(gè)顯微測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定又是尤為重要的一個(gè)內(nèi)容。本文在通過對(duì)Visual Basic 6.0 編程和顯微技術(shù)以及圖像處理技術(shù)等進(jìn)行認(rèn)真研究的基礎(chǔ)上，給出了Visual Basic 顯微圖像處理及測(cè)量程序，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體芯片的顯微測(cè)量。
具體來(lái)說，顯微系統(tǒng)首先將被測(cè)對(duì)象放大，并成像于CCD 的靶面上。接下來(lái)，CCD 將
所捕捉到的圖像通過圖像采集卡送到計(jì)算機(jī)，最后由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)所拍攝到的顯微圖像進(jìn)行處理和測(cè)量。這里計(jì)算機(jī)對(duì)圖像的處理和測(cè)量的編程運(yùn)用的都是Visual Basic 6.0 語(yǔ)言。