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配備有角隅反射棱鏡的MI系列微型干涉儀屬于精密測(cè)長(zhǎng)儀器，其設(shè)計(jì)旨在可以同用戶系統(tǒng)相組合，并適用于各種類型的實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)任務(wù)。微型傳感測(cè)頭和角隅反射棱鏡可永久安裝在計(jì)量系統(tǒng)內(nèi)。光纖耦合的傳感測(cè)頭不僅有益于多種類型的應(yīng)用，而且使整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)更具通用性。
微型化的干涉頭將角隅反射棱鏡的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為光學(xué)干涉信號(hào)，并傳入光電信號(hào)處理/電源供給單元進(jìn)行處理并輸出為長(zhǎng)度值。
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