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CCD電荷耦合器件是20世紀(jì)70年代初發(fā)展起來的新型半導(dǎo)體集成光電器件。日前它已成為集光學(xué)、電子學(xué)、精密機(jī)械與計算機(jī)技術(shù)為一體的綜合性技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于各種加工件的在線檢測和高精度、高速度的非接觸檢測技術(shù)領(lǐng)域。CCD像傳感器、光學(xué)系統(tǒng)、計算機(jī)數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)構(gòu)成的CCD光電尺寸檢測儀器的使用范圍和優(yōu)越性是現(xiàn)有機(jī)械式、光學(xué)式、電磁式測量儀器都無法比擬的。這與它本身所具有的高分辨率、高靈敏度、像素位置信息強(qiáng)、結(jié)構(gòu)緊湊及其自掃描的特性密切相關(guān)?？傊?，CCD技術(shù)是一項很有前景的技術(shù)
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