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位置敏感探測(cè)器PSD（Position Sensitive Detector PSD）具有位置分辨精度高（可達(dá)1～2 μm）、輸出實(shí)時(shí)性好（響應(yīng)時(shí)間約幾微秒）、系統(tǒng)簡(jiǎn)潔的特點(diǎn)，在位置探測(cè)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)獲得了廣泛的應(yīng)用；但PSD的輸出信號(hào)小，易受到電路噪聲的影響，若要充分發(fā)揮其性能，則需要高精度、高穩(wěn)定度、低噪聲的測(cè)量電路。針對(duì)PSD這種較高的使用要求，通過(guò)對(duì)其等效模型的分析，找到了影響位置分辨精度的主要因素，并提出了一種新形式的測(cè)量電路，減少了測(cè)量電路級(jí)數(shù)，降低了電路的噪聲以及測(cè)量電路內(nèi)部的漂移，同時(shí)具有對(duì)位置測(cè)量非線性的校正功能。采用上述原理以S1880 PSD建立的位置測(cè)量系統(tǒng)的位置分辨達(dá)到2～3 μm。
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