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標(biāo)簽 > 晶片
晶片是LED最主要的原物料之一,是LED的發(fā)光部件,LED最核心的部分,晶片的好壞將直接決定LED的性能。晶片是由是由Ⅲ和Ⅴ族復(fù)合半導(dǎo)體物質(zhì)構(gòu)成。在LED封裝時,晶片來料呈整齊排列在晶片膜上。
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半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)和工藝控制的不斷進(jìn)步,加上制造亞微米尺寸器件對襯底清潔度提出的更嚴(yán)格要求,重新引起了人們對汽相HF氧化物蝕刻技術(shù)的興趣,在文中描述了一種系...
晶圓尺寸從300毫米過渡到450毫米的技術(shù)挑戰(zhàn)
隨著技術(shù)復(fù)雜性在亞20nm節(jié)點(diǎn)上的加速,半導(dǎo)體制造成本已經(jīng)快速增加,晶圓尺寸從300毫米過渡到450毫米將是解決這一問題的方法之一,平均而言,采用300...
SAPS兆頻超聲波技術(shù)應(yīng)用于TSV晶片的刻蝕后清洗工藝
本文介紹了我們?nèi)A林科納半導(dǎo)體將空間交替相移(SAPS)兆頻超聲波技術(shù)應(yīng)用于TSV晶片的刻蝕后清洗工藝,SAPS技術(shù)通過在兆頻超聲波裝置和晶片之間的間隙中...
評估各種清洗技術(shù)的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過所需的清洗工藝處理晶片。國家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖規(guī)定了從硅片上去除顆粒百分比的標(biāo)...
氫氧化鉀(KOH)是一種用于各向異性濕法蝕刻技術(shù)的堿金屬氫氧化物,是用于硅晶片微加工最常用的硅蝕刻化學(xué)物質(zhì)之一。各向異性蝕刻優(yōu)先侵蝕襯底。也就是說,它們...
摘要 本研究開發(fā)了一種低擁有成本的臭氧去離子水清洗工藝。室溫下40 ppm的臭氧濃度用于去除有機(jī)蠟?zāi)ず皖w粒。僅經(jīng)過商業(yè)脫蠟處理后,仍殘留有厚度超過200...
通過兩步濕化學(xué)表面清洗來結(jié)合硅和石英玻璃晶片的工藝
摘要 本文展示了一種通過兩步濕化學(xué)表面清洗來結(jié)合硅和石英玻璃晶片的簡易結(jié)合工藝。在200℃后退火后,獲得沒有缺陷或微裂紋的強(qiáng)結(jié)合界面。在詳細(xì)的表面和結(jié)合...
半導(dǎo)體濕法中臭氧溶液去除有機(jī)/無機(jī)污染
本研究利用臭氧去離子水(DIO3)開發(fā)了擁有低成本的新型清洗工藝(氧化亞鈷),臭氧濃度為40ppm,用于去除有機(jī)蠟?zāi)ず皖w粒,僅經(jīng)過商業(yè)除蠟處理后,蠟渣仍...
本發(fā)明公開了一種用濕式均勻清洗半導(dǎo)體晶片的方法,所公開的本發(fā)明的特點(diǎn)是:具備半導(dǎo)體晶片和含有預(yù)定清潔液的清潔組、對齊上述半導(dǎo)體晶片的平坦區(qū)域,使其不與上...
本發(fā)明涉及一種晶片干洗系統(tǒng),更詳細(xì)地說,涉及一種能夠提高對晶片的干燥效率的馬蘭戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系統(tǒng)。馬蘭戈尼型干燥劑系統(tǒng),可以...
2022-04-11 標(biāo)簽:晶片清洗干燥系統(tǒng) 687 0
薄晶片已經(jīng)成為各種新型微電子產(chǎn)品的基本需求。其中包括用于射頻識別系統(tǒng)的功率器件、分立半導(dǎo)體、光電元件和集成電路。除了向堆疊管芯組件的轉(zhuǎn)移之外,垂直系統(tǒng)集...
介紹 RCA標(biāo)準(zhǔn)清潔,在去除硅表面污染方面非常有效。RCA清潔包括兩個順序步驟:標(biāo)準(zhǔn)清潔1(SC-1)和標(biāo)準(zhǔn)清潔2(SC-2)。SC-1溶液由氫氧化銨、...
RCA標(biāo)準(zhǔn)清潔,在去除硅表面污染方面非常有效。RCA清潔包括兩個順序步驟:標(biāo)準(zhǔn)清潔1(SC-1)和標(biāo)準(zhǔn)清潔2(SC-2)。SC-1溶液由氫氧化銨、過氧化...
本研究利用臭氧去離子水(DIO3)開發(fā)了擁有成本低的新型清洗工藝(氧化亞鈷),臭氧濃度為40ppm,用于去除有機(jī)蠟?zāi)ず皖w粒,僅經(jīng)過商業(yè)除蠟處理后,蠟渣仍...
VLSI制造過程中,晶圓清洗球定義的重要性日益突出。這是當(dāng)晶片表面存在的金屬、粒子等污染物對設(shè)備的性能和產(chǎn)量(yield)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響時的門。在典型的半...
在半導(dǎo)體制造過程中的每個過程之前和之后執(zhí)行的清潔過程是最重要的過程之一,約占總過程的30%,基于RCA清洗的濕式清洗工藝對于有效地沖洗清洗化學(xué)物質(zhì)以使它...
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