tft制造原理與簡單制造流程

　　何謂 TFT-LCD？ TFT-LCD 即是 Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display 的縮寫（薄膜電晶體液晶顯示器）TFT-LCD 如何點(diǎn) 亮？ 簡單說， TFT-LCD 面板可視為兩片玻璃基板中間夾著一層液晶， 上層的玻璃基板是與彩色濾光片（Color Filter） 結(jié)合，而下層的玻璃則有電晶體鑲嵌于上。 當(dāng)電流通過電晶體產(chǎn)生電場變化，造成液晶分子偏轉(zhuǎn)，借以改變光線 的偏極性，再利用偏光片決定畫素（Pixel）的明暗狀態(tài)。 此外，上層玻璃因與彩色濾光片貼合，形成每個(gè)畫素（Pixel） 各包含紅藍(lán)綠三顏色，這些發(fā)出紅藍(lán)綠色彩的畫素便構(gòu)成了面板上的影像畫面。 TFT-LCD 的三段主要的制程： 的三段主要的制程： 前段 Array 前段的 Array 制程與半導(dǎo)體制程相似，但不同的是將薄膜電晶體制作于玻璃上，而非矽晶圓上。 中段 Cell 中段的 Cell ，是以前段 Array 的玻璃為基板，與彩色濾光片的玻璃基板結(jié)合，并在兩片玻璃基板間灌入液晶 （LC）。 模組組裝） 后段 Module Assembly （模組組裝 模組組裝 后段模組組裝制程是將 Cell 制程后的玻璃與其他如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的生產(chǎn)作業(yè)。

　　TFT-LCD主要的三段制程：

　　首先是前段Array

　　前段部分的Array 制程和半導(dǎo)體制程相似，但是不同的是將薄膜電晶體制作在玻璃之上，而不是矽晶圓上面。

　　然后是中段Cell

　　中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作為基板，和彩色的濾光片玻璃基板相結(jié)合，并且在兩片玻璃基板之間灌入液晶（LC）。

　　最后是后段Module Assembly （模組組裝）

　　后段模組的組裝制程則是將Cell制程之后的玻璃和其他的如電路、外框、背光板等等多種零組件組裝生產(chǎn)的作業(yè)。

　　1.陣列制程（array）

　　1）一片表面光滑，沒有任何雜質(zhì)的玻璃，是制造TFT玻璃基板最主要的原料。在制作之前，需用特殊的冼凈液，將玻璃洗得干干凈凈，然后脫水，甩干。

　　2）要使玻璃基板鍍上金屬薄膜，需先將金屬材料放在真空室內(nèi)，讓金屬上面的特殊氣體產(chǎn)生電漿后，金屬上的原子就會被撞向玻璃，然后就形成一層層的金屬薄膜了。

　　3）鍍完金屬膜后，我們還要鍍上一層不導(dǎo)電層與半導(dǎo)電層，在真空室內(nèi)，先將玻璃板加溫，然后由高壓電的噴灑器噴灑特殊氣體，讓電子與氣體產(chǎn)生電漿，經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)后，玻璃上就形成了不導(dǎo)電層與半導(dǎo)體層。

　　4）薄膜形成后，我們要在玻璃上制作電晶體的圖案。首先，要進(jìn)入黃光室噴上感光極強(qiáng)的光阻液，然后套上光罩照射藍(lán)紫光進(jìn)行曝光，最后送到顯影區(qū)噴灑顯影液，這樣可以去除照光后的光阻，還可以讓光阻層定型哦。

　　5）光阻定型后，我們可用蝕刻進(jìn)行濕式蝕刻，將沒有用的薄膜露出，也可用電漿的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行干式蝕刻，蝕刻后再將留下的光阻以溜液去除，最后就產(chǎn)生電晶體所需要的電路圖案了。

　　6）要形成可用的薄膜電晶體，需要重復(fù)清洗，鍍膜，上光阻，曝光，顯影，蝕刻，去光阻等過程，一般來說，要制造TFT-LCD，就要重復(fù)5到7次。