電池片一般分為單晶硅、多晶硅、和非晶硅單晶硅太陽(yáng)能電池是當(dāng)前開(kāi)發(fā)得最快的一種太陽(yáng)能電池，它的構(gòu)造和生產(chǎn)工藝已定型，產(chǎn)品已廣泛用于空間和地面。這種太陽(yáng)能電池以高純的單晶硅棒為原料。為了降低生產(chǎn)成本，地面應(yīng)用的太陽(yáng)能電池等采用太陽(yáng)能級(jí)的單晶硅棒，材料性能指標(biāo)有所放寬。有的也可使用半導(dǎo)體器件加工的頭尾料和廢次單晶硅材料，經(jīng)過(guò)復(fù)拉制成太陽(yáng)能電池專(zhuān)用的單晶硅棒。
電池片工藝流程
制絨（INTE）--擴(kuò)散（1DIF）---后清洗（刻邊/去PSG）----鍍減反射膜PECVD----絲網(wǎng)、燒結(jié)。（PRINTER）---測(cè)試、分選（TESTER+SORER----包裝（PACKING）。
1、制絨
制絨的目的是在硅片表面形成絨面面，以減少電池片的反射率，絨面凹凸不平可以增加二次反射，改變光程及入射方式。通常情況下用堿處理單晶，可以得到金字塔狀絨面；用酸處理多晶，可以得到蟲(chóng)孔狀無(wú)規(guī)則絨面。處理方式區(qū)別主要在與單多晶性質(zhì)的區(qū)別。
工藝流程：制絨槽→水洗→堿洗→水洗→酸洗→水洗→吹干。
一般情況下，硅與HF、HNO3（硅表面會(huì)被鈍化）認(rèn)為是不反應(yīng)的。當(dāng)存在于兩種混合酸的體系中，硅與混合溶液的反應(yīng)是持續(xù)性的。
2、擴(kuò)散
擴(kuò)散是為電池片制造心臟，是為電池片制造P-N結(jié)，POCl3是當(dāng)前磷擴(kuò)散用較多的選擇。POCl3為液態(tài)磷源，液態(tài)磷源擴(kuò)散具有生產(chǎn)效率較高、穩(wěn)定性好、制得PN結(jié)均勻平整及擴(kuò)散層表面良好等優(yōu)點(diǎn)。
POCl3在大于600℃的條件下分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），PCl5對(duì)硅片表面有腐蝕作用，當(dāng)有氧氣O2存在時(shí)，PCl5會(huì)分解成P2O5且釋放出氯氣，所以擴(kuò)散通氮?dú)獾耐瑫r(shí)通入一定流量的氧氣。P2O5在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅和磷原子，生成的P2O5淀積在硅片表面與硅繼續(xù)反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成磷-硅玻璃（PSG），磷原子向硅中擴(kuò)散，制得N型半導(dǎo)體。
3、刻蝕
在擴(kuò)散工序，采用背靠背的單面擴(kuò)散方式，硅片的側(cè)邊和背面邊緣不可避免地都會(huì)擴(kuò)散上磷原子。當(dāng)陽(yáng)光照射，P-N結(jié)的正面收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到P-N結(jié)的背面，造成短路通路。短路通道等效于降低并聯(lián)電阻?？涛g工序是讓硅片邊緣帶有的磷的部分去除干凈，避免了P-N結(jié)短路并且造成并聯(lián)電阻降低。
濕法刻蝕工藝流程：上片→蝕刻槽（H2SO4HNO3HF）→水洗→堿槽（KOH）→水洗→HF槽→水洗→下片
HNO3反應(yīng)氧化生成SiO2，HF去除SiO2?？涛g堿槽的作用是為了拋光未制絨面，使電池片變得光滑；堿槽的主要溶液為KOH；H2SO4是為了讓硅片在流水線上漂浮流動(dòng)起來(lái)，并不參與反應(yīng)。
干法刻蝕是用等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕。當(dāng)氣體以等離子體形式存在時(shí)，一方面等離子體中的氣體化學(xué)活性會(huì)變得相對(duì)較強(qiáng)，選擇合適的氣體，就可以讓硅片更快速的進(jìn)行反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)刻蝕；另一方面，可利用電場(chǎng)對(duì)等離子體進(jìn)行引導(dǎo)和加速，使等離子體具有一定能量，當(dāng)轟擊硅片的表面時(shí)，硅片材料的原子擊出，可以達(dá)到利用物理上的能量轉(zhuǎn)移來(lái)實(shí)現(xiàn)刻蝕的目的。
4、PECVD
等離子體化學(xué)氣相沉積。太陽(yáng)光在硅表面的反射損失率高達(dá)35%左右。減反射膜可以提高電池片對(duì)太陽(yáng)光的吸收，有助于提高光生電流，進(jìn)而提高轉(zhuǎn)換效率：另一方面，薄膜中的氫對(duì)電池表面的鈍化降低了發(fā)射結(jié)的表面復(fù)合速率，減小暗電流，提升開(kāi)路電壓，提高光電轉(zhuǎn)換效率。H能與硅中的缺陷或雜質(zhì)進(jìn)行反應(yīng)，從而將禁帶中的能帶轉(zhuǎn)入價(jià)帶或者導(dǎo)帶。
在真空環(huán)境下及480攝氏度的溫度下，通過(guò)對(duì)石墨舟的導(dǎo)電，使硅片的表面鍍上一層SixNy薄膜。
5、絲網(wǎng)印刷
通俗的說(shuō)就是為太陽(yáng)能電池收集電流并制造電極，第一道背面銀電極，第二道背面鋁背場(chǎng)的印刷和烘干；第三道正面銀電極的印刷，主要監(jiān)控印刷后的濕重和次柵線的寬度。第二道道濕重如果過(guò)大，既浪費(fèi)漿料，同時(shí)還可能導(dǎo)致不能在進(jìn)高溫區(qū)之前充分干燥，甚至不能將其中的所有有機(jī)物趕出從而不能將整個(gè)鋁漿層轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘黉X，另外濕重過(guò)大可能造成燒結(jié)后電池片弓片。濕重過(guò)小，所有鋁漿均會(huì)在后續(xù)的燒結(jié)過(guò)程中與硅形成熔融區(qū)域而被消耗，而該合金區(qū)域無(wú)論從橫向電導(dǎo)率還是從可焊性方面均不適合于作為背面金屬接觸，另外還有可能出現(xiàn)鼓包等外觀不良。第三道道柵線寬度過(guò)大，會(huì)使電池片受光面積較少，效率下降。
印刷方法：物理印刷、烘干
6、燒結(jié)
燒結(jié)是把印刷到電池片表面的電極在高溫下燒結(jié)，使電極和硅片本身形成歐姆接觸，提高電池片的開(kāi)路電壓和填充因子，使電極的接觸具有電阻特性以達(dá)到高轉(zhuǎn)效率，燒結(jié)過(guò)程中也可利于PECVD工藝所引入－H向體內(nèi)擴(kuò)散，可以起到良好的體鈍化作用。
燒結(jié)方式：高溫快速燒結(jié)，加熱方式：紅外線加熱
燒結(jié)是集擴(kuò)散、流動(dòng)和物理化學(xué)反應(yīng)綜合作用的一個(gè)過(guò)程，正面Ag穿過(guò)SiNH擴(kuò)散進(jìn)硅但不可到達(dá)P-N面，背面Ag、Al擴(kuò)散進(jìn)硅，由于需要形成合金需要到一定的溫度，Ag、Al與Si形成合金的穩(wěn)定又不同，就需要設(shè)定不同的溫度來(lái)分別實(shí)現(xiàn)合金化。
電池片的種類(lèi)
1、太陽(yáng)能
在太陽(yáng)能電池產(chǎn)品中，以硅半導(dǎo)體材料為主，其中又以單晶硅和多晶硅為代表。由于其原材料的廣泛性，較高的轉(zhuǎn)換效率和可靠性，被市場(chǎng)廣泛接受。非晶硅在民用產(chǎn)品上也有廣泛的應(yīng)用（如電子手表，計(jì)算器等），但是它的穩(wěn)定性和轉(zhuǎn)換效率劣于結(jié)晶類(lèi)半導(dǎo)體材料。化合物太陽(yáng)能電池由于其材料的稀有性和部分材料具有公害，現(xiàn)階段未被市場(chǎng)廣泛采用。太陽(yáng)能電池的主流產(chǎn)品的材料是半導(dǎo)體硅，是現(xiàn)代電子工業(yè)的必不可少的材料，同時(shí)以氧化狀態(tài)的硅原料是世界上第二大的儲(chǔ)藏物質(zhì)。
2、五金
五金電池片主要是導(dǎo)電作用。還稱(chēng)：電池片、遙控器電池片、電池接觸片、電池彈簧片、電池扣、鍋?zhàn)衅?、、接觸片、彈片、彈簧片、電池夾片，電極片。主要用于遙控器、電子玩具、計(jì)算器、計(jì)步器、麥克風(fēng)、電話機(jī)、錄音機(jī)、收音機(jī)、音響、照相機(jī)、燈飾等行業(yè)。