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淺析數(shù)字傳感器的現(xiàn)在與未來

2018年10月07日 11:48 網(wǎng)絡整理 作者:工程師譚軍 用戶評論(0
  數(shù)字傳感器
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  數(shù)字傳感器是指將傳統(tǒng)的模擬式傳感器經(jīng)過加裝或改造A/D轉換模塊,使之輸出信號為數(shù)字量(或數(shù)字編碼)的傳感器,主要包括:放大器、A/D轉換器、微處理器CPU)、存儲器、通訊接口、溫度測試電路等,在微處理器和傳感器變得越來越便宜的今天,全自動或半自動(通過人工指令進行高層次操作,自動處理低層次操作)系統(tǒng)可以包含更多智能性功能,能從其環(huán)境中獲得并處理更多不同的參數(shù)。
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  特點
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  1、先進的A/D轉換技術和智能濾波算法,在滿量程的情況下仍可保證輸出碼的穩(wěn)定。
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  2、可行的數(shù)據(jù)存儲技術,保證模塊參數(shù)不會丟失。
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  3、良好的電磁兼容性能。
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  4、傳感器的性能采用數(shù)字化誤差補償技術和高度集成化電子元件,用軟件實現(xiàn)傳感器的線性、零點、溫漂、蠕變等性能參數(shù)的綜合補償,消除了人為因素對補償?shù)挠绊懀蟠筇岣吡藗鞲衅骶C合精度和可靠性。
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  5、傳感器的輸出一致性誤差可以達到0.02%以內(nèi)甚至更高,傳感器的特性參數(shù)可完全相同,因而具有良好的互換性。
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  6、采用A/D轉換電路、數(shù)字化信號傳輸和數(shù)字濾波技術,傳感器的抗干擾能力增加,信號傳輸距離遠,提高了傳感器的穩(wěn)定性。
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  7、數(shù)字傳感器能自動采集數(shù)據(jù)并可預處理、存儲和記憶,具有唯一標記,便于故障診斷。
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  8、傳感器采用標準的數(shù)字通訊接口,可直接連入計算機,也可與標準工業(yè)控制總線連接,方便靈活。
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  9, 數(shù)字傳感器是將AD,EPROM,DIE(指還未封裝的傳感器芯片,屬于裸片,大小介于cell和chip之間),封裝在一塊用PCB,金屬塊或陶瓷板上的集成。通過各種溫度,壓力點的校準,計算出DIE的線性,再利用AD去補償?shù)姆椒庸ざ傻摹?/div>
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  應用及前景
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  在微處理器和傳感器變得越來越便宜的今天,全自動或半自動(通過人工指令進行高層次操作,自動處理低層次操作)系統(tǒng)可以包含更多智能性功能,能從其環(huán)境中獲得并處理更多不同的參數(shù)。尤其是MEMS(微型機電系統(tǒng))技術,它使數(shù)字傳感器的體積非常微小并且能耗與成本也很低。以納米碳管或其它納米材料制成的納米傳感器同樣具有巨大的潛力 [1] 。
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  即使在萌芽階段,人們?nèi)匀徽J為在不久的將來數(shù)字傳感器對電子市場具有重要的推動作用。制作數(shù)字傳感器的接口以及支持用于數(shù)字傳感器網(wǎng)絡的形式多樣的通訊協(xié)議都是對技術工藝的巨大挑戰(zhàn)。傳感器的非均質(zhì)特性和其操作條件的多樣化也對技術工藝提出了巨大的挑戰(zhàn)。
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  現(xiàn)在系統(tǒng)設計所包含的傳感器和處理器越來越多。隨著傳感器和處理器價格的不斷降低,取代機械控制結構的閾值也在不斷變化。在系統(tǒng)中選擇正確的傳感器組合和處理算法可以顯著地降低原材料及能耗的費用并提高系統(tǒng)的總體性能。目前,不斷提高操作的簡化程度和延長能源的使用壽命變得越來越重要,尤其是如今越來越多的傳感器網(wǎng)絡動輒就配置1000或更多的傳感器節(jié)點。

  “靈敏傳感器”(smart sensor)或“數(shù)字傳感器”(digital sensor)指的是高級傳感器,它包括調(diào)節(jié)和處理信號的電路及一個網(wǎng)絡通訊的界面。它們通常以模塊(modules)形式制成,包含一個傳感器、DSP數(shù)字信號處理器)、一個DSC(數(shù)字信號控制器)或一個ASIC(特定用途集成電路);另外也有以系統(tǒng)封裝(System in Package)或系統(tǒng)芯片(System on Chip)的方式制成。在微處理器和傳感器變得越來越便宜的今天,全自動或半自動(通過人工指令進行高層次操作,自動處理低層次操作)系統(tǒng)可以包含更多智能性功能,能從其環(huán)境中獲得并處理更多不同的參數(shù)。尤其是MEMS(微型機電系統(tǒng))技術,它使數(shù)字傳感器的體積非常微小并且能耗與成本也很低。以納米碳管或其它納米材料制成的納米傳感器同樣具有巨大的潛力。市場分析機構NanoMarkets LC 估計在2008年,納米傳感器在全球的市場將達到二百八十萬美金,到2012年會增至一千七百二十萬美金。

  圖1 在不久的將來,數(shù)字傳感器被認為是電子市場的主力。

  即使在萌芽階段,人們?nèi)匀徽J為在不久的將來數(shù)字傳感器對電子市場具有重要的推動作用。制作數(shù)字傳感器的接口以及支持用于數(shù)字傳感器網(wǎng)絡的形式多樣的通訊協(xié)議都是對技術工藝的巨大挑戰(zhàn)。傳感器的非均質(zhì)特性和其操作條件的多樣化也對技術工藝提出了巨大的挑戰(zhàn)。目前在全世界有超過3000家傳感器制造商正在運作,Intechno 咨詢公司估計它們在2008年的總銷售額將會超過500億美金。

  數(shù)字傳感器不僅能夠感知所測量的物理參數(shù),諸如位置、溫度、照度、壓力、電壓或電流等;它們還能處理接收到的信號并將其發(fā)送到網(wǎng)絡中去。因此一個傳感器節(jié)點除了傳感器本身,還包括信號獲取、處理、通訊及能耗管理等等的一整套電路系統(tǒng)。

  圖2 越來越多的傳感器被整合到現(xiàn)代化汽車中。(來源:Strategy Analytics)

  現(xiàn)在系統(tǒng)設計所包含的傳感器和處理器越來越多。隨著傳感器和處理器價格的不斷降低,取代機械控制結構的閾值也在不斷變化。在系統(tǒng)中選擇正確的傳感器組合和處理算法可以顯著地降低原材料及能耗的費用并提高系統(tǒng)的總體性能。目前,不斷提高操作的簡化程度和延長能源的使用壽命變得越來越重要,尤其是如今越來越多的傳感器網(wǎng)絡動輒就配置1000或更多的傳感器節(jié)點。

  數(shù)字傳感器:在汽車中的幾例應用

  傳感器越來越多地被應用到許多領域,包括軍事、汽車、工業(yè)、醫(yī)藥、家居的安全與警戒、環(huán)境監(jiān)測等等,甚至被應用到消費領域。在大型家用電器尤其是洗衣機和冰箱中,集成傳感器的使用顯著增長。

  傳感器技術在現(xiàn)代汽車的重大改進中起到了主要作用??勾判裕ň艽牛﹤鞲衅鳎∕agnetoresistive? sensors)在汽車中用于決定機械系統(tǒng)的角度、速度或位置,汽車的防滑系統(tǒng)以及發(fā)動機和變速箱的控制需要這些數(shù)據(jù)。在汽車中還有其它各種各樣的傳感器,像雷達、紅外線、視頻、慣性和超聲傳感器等等,它們的設計是以防鎖煞車系統(tǒng)(antilock braking)、可遙控自動駕駛儀、電壓穩(wěn)壓控制器(electronic-stability control)、換道并線及盲點探測系統(tǒng)、牽引控制、防撞系統(tǒng)以及氣囊調(diào)節(jié)等等為目標的。汽車發(fā)動機管理系統(tǒng)是一個富含傳感器的系統(tǒng)。除了監(jiān)控司機與踏板之間的接觸狀況,此系統(tǒng)還測量許多變量,諸如系統(tǒng)中的空氣、燃料和尾氣的溫度、壓力以及化學成分等,并綜合所有這些信息,以便優(yōu)化發(fā)動機的輸出功率、燃料效率、排放性能、傳動經(jīng)驗甚至是適應不同的燃料類型。

  圖3 汽車發(fā)動機管理系統(tǒng)是傳感器分支系統(tǒng)的一個代表。

  數(shù)字傳感器的新興標準

  如今傳感器網(wǎng)絡使用多種技術來為不同的工業(yè)服務。用于傳感器網(wǎng)絡的各種專屬協(xié)議的數(shù)量激增。這就需要在傳感器網(wǎng)絡中引入綜合翻譯途徑,它是一個復雜而又昂貴的體系。因此人們需要更大程度的標準化。

  工程任務組(The Internet Engineering Task Force-IETF)正在為以藍牙、Wi-Fi和802.15.4網(wǎng)等為基礎的無線傳感器網(wǎng)絡開列一個標準,以便能將傳感器節(jié)點連接到更寬廣的互聯(lián)網(wǎng)絡上。IETF的目標是在傳感器之間建立一種通訊方式,這種通訊方式不需要專屬的翻譯途徑。這項協(xié)議將在2009年六月制定出臺。由IEEE(電氣電子工程師協(xié)會)的1451委員會制定的標準于上世紀90年代中期被引入,它為連接在網(wǎng)絡中的變換器(傳感器和執(zhí)行器)之間提供了一個通用而且完全透明的界面。這個標準體系包含不同的子體系:IEEE P1451.0定義了物理層面的必備條件,通訊協(xié)議和基本功能;IEEE1451.1控制信息在網(wǎng)絡上的獲取和發(fā)送;IEEE1451.2處理有線網(wǎng)絡的界面事宜,與RS-233、ES-485和USB等標準兼容;IEEE1451.3啟動處在多分支網(wǎng)絡中的傳感器的運行;于2003年通過的IEEE P1451.4規(guī)定與數(shù)字傳感器相關的數(shù)據(jù)(像傳感器的類別、型號、操作參數(shù)以及位置等)必須能夠以電子數(shù)據(jù)表的格式從整合在傳感器中的EEPROM(電可擦除只讀存儲器)存儲器中讀取,這種數(shù)據(jù)表被稱為變換器電子數(shù)據(jù)表(TEDS-Transducer Electronic Data Sheet)。IEEE P1451.4標準極大地簡化了傳感器的布線以及更換故障傳感器的問題。 它同時也免除了傳感器在設置和校準方面的人工干預,這種干預即費時又易出錯。這樣傳感器就成了即插即用的裝置。在國家儀器網(wǎng)站(National Instruments’ web site)中有一個有效TEDS的數(shù)據(jù)庫,它包括了可以在IEEE P1451網(wǎng)絡中使用的各種老式的或沒有EEPROM的傳感器的專門資料。IEEE 1451.5標準仍在審核階段,它規(guī)定的是將TEDS連接到無線網(wǎng)絡中的必要條件,如與802.11、藍牙或ZigBee等的連接。最近又提出了IEEE 1451.6標準議案,它定義TEDS和CAN總線的接口。

  圖4 IEEE P1451標準的制定為連接在網(wǎng)絡上的變換器(傳感器和執(zhí)行器)之間提供了一個通用且完全透明的界面。

  無線數(shù)字傳感器

  幾十億的有線傳感器被廣泛地用于電子系統(tǒng)中,從簡單的熱電偶到更復雜的專用系統(tǒng)。它們被用于測量和監(jiān)控物理參數(shù)。許多工程師正在考慮改用無線傳感器,因為它們具有一些顯著的優(yōu)點,價格低廉、適應性好,即使在不良環(huán)境中也易于安裝和使用。根據(jù)市場分析機構Cahners Instat的估計,到2010年,將有超過1600億個無線傳感器網(wǎng)絡節(jié)點被賣出。

  傳感器的無線網(wǎng)絡將在一定區(qū)域內(nèi)分布的各種傳感器連接在一起并結合智能電路進行信號處理和數(shù)據(jù)傳輸。其可能的應用領域包括軍事、環(huán)境及道路交通的監(jiān)控、安全與警戒、家庭與工業(yè)自動化、醫(yī)療衛(wèi)生系統(tǒng)和汽車。在工業(yè)環(huán)境中,建立一個傳感器網(wǎng)絡的費用有80%花在布線上,而且建立這樣一個網(wǎng)絡有時是不現(xiàn)實甚至是不可能的。在汽車方面,傳感器的一個重要應用是用于遙控開鎖系統(tǒng)(RKE-Remote Keyless Entry Systems),以無線代替了CAN總線,這樣做大大節(jié)省了成本及空間,去除了昂貴而粗大的電纜。根據(jù)Cahners Instat最近的預測,到2010年將有超過1600億個傳感器網(wǎng)絡節(jié)點被賣出;而且建立包含一萬至十萬個傳感器節(jié)點的網(wǎng)絡也是非??赡艿氖?。這樣,可測量性成為了一個非常關鍵的因素。此外,傳感器必須可以現(xiàn)場編程和自行設置;網(wǎng)絡必須能夠在有一個或多個故障傳感器存在的情況下正常運行。另一個關鍵參數(shù)是能耗,因為無線傳感器也可能被設置在偏遠地區(qū)。在無線傳感器網(wǎng)絡方面,一個非常有前途的無線技術是ZigBee,它是按照IEEE 802.15.4標準研發(fā)的,能確保低能耗和低成本。ZigBee 聯(lián)盟的發(fā)起公司有深圳的華威科技、Ember、Freescale、Philips、STMicroelectronics、Texas Instruments、Samsung 和Siemens。West Technology,一個定向于無線電技術市場調(diào)查的公司預測,利用ZigBee 技術制作的符合IEEE 802.15.4標準的傳感器芯片組的銷售量將從今年的三千一百萬組上升至2012年的三億一千二百萬組,其增長為稍高于100%的復合比。其它應用于無線傳感器網(wǎng)絡的無線技術還有由Cypress Semiconductor推出的無線-USB;以及z-Wave,一種由Zensys公司研發(fā)的技術,有超過160家公司組成了一個z-Wave 聯(lián)盟來共同推廣這一技術。

  圖5 MEMS加速計將成為便攜式用戶(消費)設備中許多高級界面的啟動器。(來源:Sensor Platform)

  無線傳感器:新興的用途

  應用于住宅方面的傳感器在全球具有60億個節(jié)點的潛在市場,用于以無線傳感器為基礎的監(jiān)控系統(tǒng),它是無線傳感器用途的一個重要體現(xiàn)。到2012年,用于智能住宅(smart house)的無線傳感器網(wǎng)絡將會有價值二十八億美金的全球市場;相比較而言,其在2007年的市場只有四億七千萬美金。傳感器最被看好的用途有照明控制、節(jié)能系統(tǒng)、保安模塊、娛樂系統(tǒng)和遠程就醫(yī)(telemedicine)。無線傳感器比有線傳感器更易安裝并且免除了昂貴而粗大的電纜。這種優(yōu)勢在工業(yè)領域尤為重要,電纜在其傳感器網(wǎng)絡安裝費用中占80%。無線傳感器在惡劣環(huán)境中使用具有優(yōu)勢,在這些環(huán)境中傳感器要經(jīng)得起震動、高溫和電子噪聲甚至是爆炸性氣體。在如此惡劣的環(huán)境中安裝有線傳感器是不現(xiàn)實、昂貴甚或是不可能的。過去阻礙無線傳感器在工業(yè)領域中使用的原因是保安問題以及工廠中不同無線電網(wǎng)絡之間可能存在的干擾問題。無線傳感器在其它領域中的應用經(jīng)驗可以作為參照來解決其在工業(yè)環(huán)境中應用所遇到的這些問題。例如,解碼技術被用來保護無線傳感器網(wǎng)絡拒絕非法訪問。

  無線傳感器應用的另一個強勢領域是由汽車氣體力學中的輪胎壓力傳感器產(chǎn)生的。根據(jù)2001年頒發(fā)的一項法律,美國強制性要求每一種新款汽車都必須配備這種輪胎壓力傳感器。The Yole Développement,一家法國市場分析公司預計,到2012年這種傳感器的市場將達到1830億美金,相對于2007年的一億六千八百萬美金,由于價格不斷下跌的緣故其復合增長率僅為2%。從銷售量的角度分析,德國的Wicht Technologie公司預計,在市場上此類無線傳感器節(jié)點的數(shù)量將會由2011年的十萬組增加到2015年的超過六千萬組。如果類似美國的輪胎壓力傳感器法也在歐洲和亞洲通過的話,到2012年其市場可能會超過三億美金。

  圖6 許多產(chǎn)品公司正在開發(fā)具有經(jīng)濟效益的解決方案以及小型化MEMS傳感器技術,這些技術據(jù)稱可以很經(jīng)濟地將運動感應功能加入到手機和消費產(chǎn)品中。(來源:STMicroelectronics)

  無線傳感器網(wǎng)絡的必備條件

  無線傳感器網(wǎng)絡的主要組成部分是數(shù)字傳感器。無線傳感器的主要必備條件是一個被降低的波形因數(shù)、低能耗以及有效工作范圍,其有效工作范圍與所發(fā)射的無線電信號強度和能耗均成正比的。無線傳感器網(wǎng)絡必須具備高效性、可靠性和可縮放性,它們還應該能支持數(shù)量眾多的傳感器節(jié)點(10,000 – 100,000個)。其另一個必要條件是極低的維修需求。無線傳感器通常都安裝在偏遠地區(qū),人工介入,即使是像更換電池這樣簡單的事也是很困難和昂貴的。因此無線傳感器的能耗一定要極其低,以使其在一個電池更換周期內(nèi)可以運行幾個月甚至幾年?;谶@些原因,人們已經(jīng)研發(fā)出了幾種不需要電池的解決方案。它們以能量搜集技術為基礎,可以從環(huán)境中汲取運行所需要的能量。它們通常能利用太陽能、熱能或振動所帶來的能量。再有,傳感器必須能夠現(xiàn)場編程和自我設置;即使在有一個或多個故障傳感器存在的情況下,網(wǎng)絡也能正常運行。信號發(fā)送率通常不是問題,因為在大多數(shù)應用中,傳感器所產(chǎn)生的數(shù)據(jù)量不是很大,能以非連續(xù)方式來發(fā)送。

  圖7 在汽車領域,MEMS被用于導航和信息娛樂設備中。

  數(shù)字微粒(smart dust)

  微粒是放置在集成度非常高的驅(qū)動器和功能部件中的微型數(shù)字傳感器,用于收集和分析信息以及管理靜態(tài)存儲器和閃速存儲器。它的特性是能耗極低并支持近距離無線電通信。人們通常把它們與“無所不在的計算”和“數(shù)字微粒”等名稱相提并論。這項技術是在1997年由美國加州大學伯克利分校研發(fā)的。它的應用領域包括軍事、保安、家居自動化、工業(yè)控制、建筑控制、汽車網(wǎng)絡(automotive networks)、醫(yī)療系統(tǒng)以及智能型消費電器等。目前,一個數(shù)字微粒的價格大約為100美金,并需要體積大壽命卻比較短的電池來供電。不過其研究者說,在五年內(nèi)它們的單價會被降到10美金以下。通過能量搜集技術,微粒也將能利用太陽能或動能自行供電。

  這些微型數(shù)字傳感器已經(jīng)被用于商品電器中。伯克利大學正在與Intel合作研制傳感器平臺,使之與XScale處理器結合以保證電池壽命超過一年。數(shù)字微粒傳感器的主要制造商是總部設在加州的Crossbow公司。根據(jù)市場分析家的預測,到2008年底,微粒的銷售量將會超過2億個。

  圖8 許多公司開始將生物測定傳感器納入現(xiàn)有的保安基礎設施中。

  微型機電傳感器正在占領陣地

  我們每天都在不知不覺中與微型機電傳感器(MEMS-micromechanical sensor)打交道:壓力、臨近與運動傳感器(proximity and movement sensor)、陀螺儀、加速計、麥克風和壓電裝置等等?,F(xiàn)如今,MEMS技術在以下四個領域取得了商業(yè)性的成功:用于氣囊控制的加速計;用于監(jiān)測汽車耗油量的壓力傳感器;噴墨打印機頭和用于投影顯示的反射鏡。根據(jù)iSuppli的預測,微型機電傳感器的全球市場將會由2006年的61億美金增長到2012年的88億美金。到2012年為止,MEMS儀器的單位出貨量的年復合增長率預計為6.4%,其同期年銷售額的復合增長率預計為5.5%。雖然產(chǎn)品總需求量的增長相對緩慢,但某些單項產(chǎn)品的市場卻成長得非常迅速;例如,iSuppli預言手機的平均復合增長率將為22.9%,到2012年,僅此一項產(chǎn)品的市場將達到九億二千五百萬美金。事實上MEMS傳感器正在越來越多地被用于消費電子產(chǎn)品。MEMS肯定會被大量地應用于消費電子產(chǎn)品中,最大的MEMS制造商們都把賭注押在了這塊市場上。STMicroelectronics公司MEMS事業(yè)部門的總監(jiān)Benedetto Vigna認為,MEMS技術的用戶化將為此項技術開辟新的領域,它也將會受到無線傳感器網(wǎng)絡主體配置的影響。MEMS傳感器也可以被整合到游戲控制器中,使它們能夠在便攜式終端上跟蹤操縱者手部的運動,并以此來調(diào)節(jié)顯示屏上的畫面變化或進行目錄瀏覽。

  市場調(diào)研機構iSuppli認為,移動傳感器(motion sensors)將代替?zhèn)鹘y(tǒng)的傳感器成為MEMS市場的主要推動力,至少在2012年之前會是這樣。尤其是加速計(accelerometer),它在便攜式消費電器中將被用來啟動一系列高級界面功能。傳感器在消費電器中的應用正在迅速飆升,像用于游戲、筆記本電腦數(shù)碼相機中的移動傳感器就是實例。雖然以傳感器為基礎的微型機電系統(tǒng)(MEMS-microelectromechanical systems)的價格已經(jīng)在迅速下降,它們還是太昂貴而不能被用在一些對價格敏感的消費產(chǎn)品中。

  自從MEMS加速計被用在Wii和蘋果牌iPhone中后,它們在消費市場中得到越來越多的關注。像Analo Devices 和STMicroelectronics 等MEMS加速計廠商都在其MEMS產(chǎn)品的銷售上取得了巨大成功,這些產(chǎn)品全是為Wii 控制器和iPhone設計的。ABI Research 公司強調(diào),為了打進一個主體市場,傳感器的單位價格必須低于一美元。

  產(chǎn)品制造商們正在研發(fā)低成本解決方案,據(jù)說用于手機和其它消費電器的微型化MEMS傳感器在保證移動感應功能的同時成本更為低廉。

  STMicroelectronics公司去年推出了新一代高度壓縮的三軸線性加速計。LIS331系列的低能耗MEMS傳感器為消費用電器及工業(yè)用電器提供了靈敏的內(nèi)嵌式微型移動感應解決方案。這些功能包括便攜和游戲裝置中的移動用戶界面、用于保護硬盤數(shù)據(jù)的自由落體探測以及家用電器的震動探測與補償。

  Freescale Semiconductor 公司也完成了它的MEMS傳感器產(chǎn)品系列,推出了一個三軸數(shù)據(jù)輸出加速計。這個裝置免除了對模數(shù)轉換器和外部存儲器的需要。MMA7450L裝置則能啟動各種以移動為基礎的功能,如在便攜式終端和用手指點擊操作的用戶界面中需要感知移動、加速或減速,以便實施屏幕滾動、游戲控制及硬盤自由落體保護等功能。Anolog Devices也推出了ADXL330三軸加速計的隨續(xù)產(chǎn)品,用于Wii的遙控。新加速計的功能有所改善,其中包括低能耗和低成本。

  總部設在加利福尼亞的Sensor Platforms研制出了一種移動感應技術,它可以插入在設備中用于硬盤的自由空間指示、內(nèi)部巡視和震動消除。本年度的下半年這個公司的此項產(chǎn)品將會面市。這類產(chǎn)品使用第三方供應商所提供的低成本MEMS加速計、磁力計和GPS傳感器。Sensor Platforms聲稱研制出了一個自由空間指示器,它可以用AA電池來驅(qū)動,并保證其總的材料成本低于10美元。

  在汽車領域,MEMS用于麥克風、加速計和MEMS陀螺儀,如導航儀、信息娛樂設備和駕駛員記錄儀等。這后幾種應用被嵌入CMOS(互補金屬氧化物半導體)照相機,它們可以登記在事故發(fā)生前幾秒鐘內(nèi)所發(fā)生的事件。STMicroelectronics 為日本和韓國的一些客戶研發(fā)了類似的解決方案。

  市場研究公司Yole Développement認為,在汽車市場中,陀螺儀、加速計和壓力傳感器是最重要的MEMS應用項目。例如許多國家立法要求在汽車的氣囊和座椅中安裝壓力傳感器。到2011年為止,MEMS在運輸領域的市場預計將以12.5%的速率增長,銷售額將達到十三億五千萬美金。

  在汽車用MEMS的經(jīng)銷商中Bosch是第一名,其2007年的銷售額為四億三千萬美金,其次是STMicroelectronics (三億二千萬美金),F(xiàn)reescale Semiconductor (二億三千五百萬美金),Analog Devices (二億一千萬美金),Denso (一億七千六百萬美金),Infineon (由其分公司Sensonor帶來的一億三千萬美金的年收入),Delphi(一億一千六百萬美金)和Continental AG(五千六百萬美金)。

  其它被認為很具有前途的應用是防盜系統(tǒng)和LBS(Location Based Services-定位服務)系統(tǒng)。其中包括定向廣告信息(以地區(qū)為基礎的廣告業(yè))以及無線多人游戲,這種游戲可以把游戲參加者的地理位置考慮在內(nèi)。MEMS也是將GPS功能整合入手機的一個關鍵裝置。GPS定位需要在高電流(約為50mM)下進行;這種特性使其非常難于整合入像手機一類的便攜式終端,因為在此類終端中一般都采用能耗優(yōu)化來延長電池的使用壽命。與之相反的是MEMS陀螺儀和磁力傳感器所需的電流比GPS低兩個數(shù)量級。一旦用戶的位置被確定下來,MEMS傳感器就可以代替GPS,因此可以在移動網(wǎng)絡中定期地短暫使用GPS來修正用戶的位置,以便糾正MEMS傳感器可能引起的誤差。

  在家居自動化中,MEMS傳感器可用于降低洗衣機等的水電消耗量。像自動吸塵器和自動割草機等小型家用電器會以適當?shù)臄?shù)量打入市場,因為它們的能耗效率不是很高。MEMS傳感器另一些引人注目的應用是在醫(yī)療領域,例如用于監(jiān)控患者的各種重要生理指標,或用于對老年人進行遠程就醫(yī)等。

  圖9 生物測定傳感器和讀出器經(jīng)常被用于像個人電腦、筆記本電腦、硬盤等大宗產(chǎn)品中,以防這些產(chǎn)品在被盜或丟失后其中的文件被非法用戶讀取。

  生行測定傳感器在保安方面的應用

  一些公司正在著手把生物測定傳感器納入其現(xiàn)有的保安基礎設施中。用于訪問授權控制(access control)的硬件與軟件銷售額高達四十億美金。國際生物測定集團(International Biometric Group)預計到2009年,僅生物測定訪問授權控制系統(tǒng)一項將會占據(jù)整個生物測定系統(tǒng)市場的30%;到2010年,銷售額將達到五十七億美金。含有多種生物測定傳感技術的綜合生物測定系統(tǒng)將占總市場的5%。

  生物測定傳感器和讀出器通常被整合到大宗電子產(chǎn)品中,諸如個人電腦、筆記本電腦、DVD、手機、USB存儲器以及硬盤等,用來防止在此類物品被盜或丟失后其中的文件被非法用戶讀取。其它重要的應用有公共行政管理、移動交易(如電子商務或郵遞商務)以及機場和在醫(yī)院中控制患者的病歷等。

  以生物測定監(jiān)視系統(tǒng)為基礎的傳感器技術發(fā)展十分迅速,并且在圖象顯示、反應速度和數(shù)據(jù)處理等方面提供了非常優(yōu)越的性能。指紋傳感器在分辨率、有效面積的獲取、可靠性、堅固程度、體積、價格及保養(yǎng)需求等方面有著很大區(qū)別。NIST(美國國家標準技術研究所)標準規(guī)定一個“好”的指紋圖像的分辨率應該高于500dpi(dot per inch)。當今應用最普遍的技術是光學法,使用一個傳感器或一組CCD(電荷耦合裝置)或CMOS(互補金屬氧化物半導體)傳感器;還有使用電容法的。電容掃描器是更為精簡的裝置,因此它們是容量有限的便攜式儀器的理想選擇。最新一代用于獲取指紋的傳感器不需要手指與儀器有實質(zhì)性的接觸,這樣就避免了由前一次獲取指紋殘留下來的指印所帶來的干擾問題,這種殘留指印會改變指紋讀取結果。Upek,一個2004年由STMicroelectronics 派生出的公司,研制出了一種叫作TouchChip的活性像素電容感應技術,它提供了最佳的信號與噪聲比率以及成像質(zhì)量。與以往的電容感應技術相比,它也確保了圖像不受寄生元件的干擾(parasite effects)。其感應區(qū)域由一個二維像素組構成,每一維由兩個相鄰的金屬電極組成,由一個保護罩將它們與用戶的手指和周圍環(huán)境分開。那些電極形成了一個散射狀的電容,它的電場力線被鋪在硅表面上。當手指的皮膚處在傳感器的感應區(qū)內(nèi)時,它干擾了其電場的電場力線,因而降低了兩個電極之間的有效電容量,通過電容減弱的程度就可以探測到皮膚表面高低起伏的變化。

  雖然目前生物測定傳感器的單位價格已經(jīng)低于五美元,但是為了進一步降低它們的價格,奧地利的Nanoident公司研制出了由聚合物半導體制成的光學傳感器,它的價格比其同類的硅半導體傳感器要低廉得多。使用這種傳感器能制出柔軟易曲的指紋掃描器并能將其嵌入到智能卡中。每個傳感器帶有256個50μ×50μ的像素,所產(chǎn)生圖像的分辨率為250dpi。

  手掌靜脈紋識別雖然是一項不太常用的生物測定技術,但它也在逐漸流行起來。它通常與指紋識別共同使用來實現(xiàn)更高級別的保安措施。其應用包括人員識別、人員進入的控制以及對使用電子收款機進行的金融交易實施保護等。Fujitsu公司研發(fā)了一種使用近紅外光來確定靜脈形狀的技術。原理是在靜脈中流動的血紅蛋白吸收波長為760nm的近紅外光,因此這項非接觸性的技術是很可靠而安全的。靜脈構造圖是非常難以復制和偽造的,原因是它在手的組織內(nèi)部并且需要血液流動才能夠構成圖像。由Fujitsu研發(fā)的這項技術使錯誤接受率低于0.00008%,而錯誤拒絕率則低于0.01%。

  圖像傳感器:用CCD 還是CMOS?

  對保安問題日益增加的關注導致了人們在監(jiān)視系統(tǒng)上的投資越來越多。事實上視頻監(jiān)視領域正在不斷地擴大。根據(jù)市場分析機構RNCOS的預測,人們對視頻監(jiān)視系統(tǒng)的需求量將從目前的10%增加到2009年的36%;在今后的五年里,其總銷售額將從目前的七十億美金增至一百三十億美金。監(jiān)視產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷一場重大變革。據(jù)估計超過90%的監(jiān)視錄像機是模擬型的。模擬監(jiān)視系統(tǒng)通過同軸電纜將CCTV(Closed-circuit television-閉路電視)攝像機連接到中央磁帶錄像機或硬盤上。如今模擬錄像正逐步地被數(shù)字化、壓縮并按照Internet 協(xié)議做成數(shù)據(jù)包送到Internet的服務器上。最新一代智能攝像機可以對捕捉到的圖像進行高等分析。監(jiān)視錄像可以在數(shù)字攝像機上直接被編譯成H.264碼并以較低的位速率在Ethernet上傳送。

  圖像傳感器技術是上世紀六十年代末伴隨第一代CCD(電荷耦合裝置)而產(chǎn)生的,它是監(jiān)視系統(tǒng)必備的裝置。在一個CCD傳感器中,每個像素中的電荷通過數(shù)目有限的輸出節(jié)點(有時只有一個節(jié)點)傳遞并被轉換成一個電壓值作為模擬信號送出芯片。多年來CCD是起主導作用的圖像獲取技術,因為在現(xiàn)有的處理技術條件下CCD所提供的圖像質(zhì)量非常高(以效率和噪聲作為衡量標準)。CMOS(互補金屬氧化物半導體)圖像傳感器幾乎是與CCD同時期發(fā)明的。在一個CMOS傳感器中,每個像素都具有電荷/電壓轉換功能,它通常還帶有放大器、噪聲補償電路和數(shù)字化區(qū)。這些功能增加了芯片的復雜性也減少了傳感器的體積。由于其信號轉換是由每一個芯片獨立完成的,因此像素的均一性比較差。盡管如此,CMOS傳感器的整合性卻非常好,使芯片攝像機(camera on a chip)得以實現(xiàn)。低成本CMOS圖像傳感器的出現(xiàn)也促進了攝像機或圖像傳感器在工序自動化方面的應用。CMOS傳感器使整個系統(tǒng)的能耗及成本都大幅度降低。

  據(jù)IC Insights估計,2008年圖像傳感器的市場總銷售額將會達到七十六億美金,比2007年多10%。CMOS圖像傳感器的銷售額于2007年降低了12%之后,在2008年預計會上升19%,達到四十四億美金;同時CCD(電荷耦合裝置)的銷售額在2008年會達到三十二億美金,下降1%,相比之下,其2007年的銷售額與以往持平。OmniVision在2007年成為CMOS圖像傳感器的最大供應商,其次是Micron Technology、STMicroelectronics、Toshiba和Sony。

  CCD在CMOS傳感器在性能上的差距隨著處理技術和設計技巧的不斷改進而被大大地縮小。上世紀九十年代產(chǎn)生了活性像素傳感器(APS-active pixel sensor),它使用活性晶體管(active transistor)對光敏二極管產(chǎn)生的信號進行緩沖。DPS(Digital Pixel System-數(shù)字像素系統(tǒng))平臺是斯坦福大學歷時八年的研究成果,它由斯坦福大學的讓產(chǎn)易股公司Pixim銷售,用于攝像機錄像監(jiān)視系統(tǒng)。DPS技術使整合在傳感器中的模擬/數(shù)字轉換器(analog-to-digital converter-ADC)在像素階段直接對到達傳感器的光進行信號轉換。它的結構可以使更多的低速ADC平行運行并盡可能地靠近光敏二極管產(chǎn)生信號的位點;這使得每一個像素的信號與噪聲比達到最佳值,傳感器的數(shù)字化也使信號的讀取更快更準確。意大利公司NeuriCam推出了一系列VISoC (Vision System on Chip – 芯片上的影像系統(tǒng))光學傳感器,它們可以用C或匯編語言編程并且其設計最適合用于汽車領域。VISoC是一個完整的微型影像系統(tǒng),它包含一個32位RISC CPU(精簡指令集中央處理器)、一個中性處理器(neutral processor)以及平行和串行接口。其CPU性能可以達到60MIPS(百萬條指令/秒);而平行處理器的性能可以達到1000MOPS(百萬次運算/秒)。為了能夠自主運行,它只需要RAM和閃速存儲器(flash memory)。

  Sharp公司最近推出了兩種CCD傳感器RJ2311CA0PB和RJ2321CA0PB,其敏感度為3,200mV,是目前CCD攝像機市場中最高的。多虧有了Sharp公司的微型精加工技術(micro-finishing technology),這項技術起源于高分辨率小型數(shù)碼相機,使入射光的采集率和光電轉化率得到了非常大的提高,敏感度比以前的類型高1.6倍。因為它們的這些優(yōu)良性能,新的CCD傳感器很適合用于保安攝像機系統(tǒng),即使在夜間光線很差的情況下它們也能攝出清晰的圖像。RJ2311CA0PB傳感器產(chǎn)生的NTSC信號的分辨率為270,000像素;而RJ2321CA0PB產(chǎn)生的PAL信號的分辨率為320,000像素。


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