目前主要的磁傳感技術(shù)根據(jù)工作原理的不同，包括霍爾、AMR（各向異性磁阻傳感器）、GMR（巨磁阻）、TMR（隧道磁電阻）、磁通門、磁感應(yīng)（Magneto Inductive）、超導(dǎo)量子干涉儀（SQUID）等。據(jù)市場(chǎng)調(diào)研公司MarketsandMarkets預(yù)測(cè)，全球磁傳感器市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將從2015年的22.5億美元增長(zhǎng)至2022年的41.6億美元，2016~2022年間的年復(fù)合增長(zhǎng)率為8.87%，增長(zhǎng)勢(shì)頭強(qiáng)勁。 ? 全球磁傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來自于：磁傳感器垂直行業(yè)對(duì)基于MEMS傳感器的需求日益增長(zhǎng)（傳統(tǒng)的基于機(jī)電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體積、價(jià)格和產(chǎn)能上不能適應(yīng)工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的需求）、汽車和電子羅盤應(yīng)用的增長(zhǎng)、對(duì)高質(zhì)量傳感器件需求的日益增加、消費(fèi)電子應(yīng)用的不斷增長(zhǎng)。 ?
? 電子發(fā)燒友對(duì)目前國內(nèi)外主要的MEMS磁傳感器廠商及其產(chǎn)品做了梳理，以下是具體內(nèi)容。 ?
1、NXP? KMA320 ?
? KMA320/321/310系列適用于油門/EGR位置傳感器、渦輪增壓器/離合器/換擋執(zhí)行器等高性能應(yīng)用。該傳感器采用無PCB設(shè)計(jì)，帶集成電容。該IC支持特定用戶定義角度范圍、零角度位置和鉗位電壓。這些設(shè)置永久保存在非易失性存儲(chǔ)器中(NVM)?？?a target="_blank">編程的角度傳感器是預(yù)先設(shè)置、預(yù)先校準(zhǔn)的，因此，隨時(shí)可用。 ? 工作溫度最高達(dá)180℃，適用于發(fā)動(dòng)機(jī)艙中的高溫應(yīng)用(ETC，EGR)，基于內(nèi)置的AMR技術(shù)，精度高。17個(gè)等距的或7個(gè)可選的校準(zhǔn)點(diǎn)，可進(jìn)行多點(diǎn)校準(zhǔn)，以提高應(yīng)用的線性度和靈活性，8 × 12位客戶存儲(chǔ)空間，便于追蹤經(jīng)久耐用，此外工作磁場(chǎng)強(qiáng)度大于25 kA/m。 ? KMZ41 ? KMZ41是一款靈敏的磁場(chǎng)傳感器，具有薄膜坡莫合金的磁阻效果。該傳感器集成兩個(gè)電流獨(dú)立的惠斯通電橋，覆蓋45 °角。強(qiáng)度大于40 kA/m（建議場(chǎng)強(qiáng)大于100 kA/m）且表面與芯片（x-y平面）平行的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)將產(chǎn)生兩個(gè)獨(dú)立的正弦輸出信號(hào)，一個(gè)信號(hào)遵循cos(2α)函數(shù)，另一個(gè)遵循sin(2α)函數(shù)。傳感器的工作頻率范圍為直流至1 MHz。 ?
? FXOS8700CQ ? FXOS8700CQ 6軸傳感器在小型3 x 3 x 1.2 mm QFN塑料封裝中結(jié)合了先進(jìn)的加速度傳感器和磁力傳感器。這款產(chǎn)品將14位加速度傳感器和16位磁力計(jì)與高性能ASIC結(jié)合在一起構(gòu)建電子羅盤解決方案，典型的方向分辨率為0.1°，羅盤方位精度誤差小于5°，可滿足很多應(yīng)用。 主要目標(biāo)產(chǎn)品有智能手機(jī)、平板電腦。 ?2、Allegro? ATS19580 ? 這是業(yè)內(nèi)首款完全集成的、背磁（back-biased）巨磁阻（GMR）變速箱速度和方向傳感器。ATS19580能夠在變速箱應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)最高的系統(tǒng)性能，并可減小系統(tǒng)尺寸，降低復(fù)雜度和成本，提高系統(tǒng)的燃油經(jīng)濟(jì)性。ATS19580將GMR技術(shù)與Allegro領(lǐng)先的變速箱算法和獨(dú)特封裝相結(jié)合，是迄今為止性能最高的變速箱傳感器，其主要性能包括：工作氣隙的最大動(dòng)態(tài)范圍（提高50％）、業(yè)界領(lǐng)先的抗振動(dòng)性能、電磁兼容（EMC）保護(hù)、穩(wěn)健的抗共模雜散場(chǎng)能力。 ?
? A19520 ? A19520是一款先進(jìn)的耐振霍爾效應(yīng)集成電路(IC)，可測(cè)量旋轉(zhuǎn)目標(biāo)的速度和方向。該傳感器IC可以直接測(cè)量環(huán)形磁鐵或者與磁鐵反向偏置來測(cè)量鐵磁目標(biāo)。該封裝具有用于電磁兼容性(EMC)的集成電容器。A19520采用智能算法，可在傳動(dòng)應(yīng)用中常見的振動(dòng)和高動(dòng)態(tài)氣隙環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。此外，A19520差分傳感功能對(duì)干擾共模磁場(chǎng)具有固有抑制功能。 ? A19520中的集成診斷用于檢測(cè)影響輸出協(xié)議精度的IC故障，提供支持功能安全性的覆蓋范圍。A19520采用無鉛(Pb) 2引腳單SIP封裝（后綴：UG），并采用錫電鍍引腳框。UB封裝包括集成在單個(gè)包覆成型封裝中的IC和電容器，并附加模制引線穩(wěn)定桿，可實(shí)現(xiàn)安全運(yùn)輸，并且易于組裝。 ?
?3、TDK-Micronas? CUR 423x ? CUR 423x是一款用于隔絕的交流和直流測(cè)量的單軸非接觸式磁場(chǎng)傳感器。隧道磁阻傳感技術(shù)可以在高電流應(yīng)用中以高敏感度和高精度測(cè)量電流。在混合電動(dòng)車高壓電池監(jiān)控系統(tǒng)中使用電流隔絕的感應(yīng)電路尤其有益。在全溫度范圍內(nèi)的優(yōu)異信噪比和全范圍內(nèi)低于1%的誤差率，能實(shí)現(xiàn)上至5 kHz信號(hào)帶寬的應(yīng)用中的精確電流測(cè)量。 ?
? 因?yàn)闊o需使用聚磁芯，可以節(jié)省空間和成本。數(shù)字補(bǔ)償、溫度補(bǔ)償、低通濾波以及鉗位可以通過TDK-Micronas的編程工具輕易實(shí)現(xiàn)編程。 ? HAl 15xy ? HAl 15xy系列產(chǎn)品是各種霍爾開關(guān)，帶具有主動(dòng)偏置補(bǔ)償和比較器的溫度補(bǔ)償霍爾片，可選開漏輸出或者電流輸出。HAL 15xy有帶短路保護(hù)的三線開漏輸出版本和兩線電流輸出版本。HAL 15xy有最小的SOT23包裝，提供最低能耗，快速反應(yīng)時(shí)間，以及獨(dú)特的安全特性，比如為客戶提供高性價(jià)比的上電自檢功能。
HAL 15xy有各種不同開關(guān)點(diǎn)的版本，廣泛適用于極限環(huán)境溫度境況下的汽車和工業(yè)應(yīng)用。 ?
? HAL 24xy ? 新的HAL 24xy產(chǎn)品系列提供擴(kuò)展的距離測(cè)量，更加耐用，為惡劣環(huán)境下的應(yīng)用提供藝術(shù)級(jí)的診斷功能。系列中的新產(chǎn)品延續(xù)了Micronas的線性霍爾效應(yīng)傳感器的長(zhǎng)期成功，全部本廠生產(chǎn)，并且使用有汽車級(jí)的百萬產(chǎn)品零缺陷記錄。產(chǎn)品使用Micronas最新技術(shù)，新的數(shù)碼架構(gòu)和加強(qiáng)的霍爾片，可以僅用一個(gè)簡(jiǎn)單的磁鐵配置就可以測(cè)量上至180°的角度。 ? 產(chǎn)品具有帶旋轉(zhuǎn)電流補(bǔ)償?shù)臏囟妊a(bǔ)償霍爾片，一個(gè)帶輸出驅(qū)動(dòng)的直流／交流轉(zhuǎn)換器，為標(biāo)定數(shù)據(jù)和輸出數(shù)據(jù)提供冗余和鎖定功能的EEPROM內(nèi)存，對(duì)EEOROM編程的圖形界面，和各連接保護(hù)裝置。
通過簡(jiǎn)單標(biāo)定，產(chǎn)品可很好地調(diào)整輸出輸入信號(hào)和補(bǔ)償應(yīng)用中的所有偏差（磁鐵位置，溫漂）。這讓產(chǎn)品在全溫度范圍內(nèi)精確工作。通過PC電腦和Micronas工具包可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)各別傳感器參數(shù)的計(jì)算和EEPROM編程，產(chǎn)品設(shè)計(jì)適用于惡劣環(huán)境下的工業(yè)和汽車應(yīng)用。 ?
?4、Melexis? MLX9039 ? 邁來芯MLX90393是邁來芯位置傳感器IC的新晉成員，同時(shí)也是該產(chǎn)品組合中靈活性最高的最小組件。此外，這款磁場(chǎng)傳感器IC專為微功率應(yīng)用而設(shè)計(jì)，其占空比可在0.1％至100％的范圍內(nèi)編程設(shè)定。MLX90393磁場(chǎng)傳感器IC可以在運(yùn)行期間重新編程為不同模式及設(shè)置。此傳感器IC提供16位輸出，與通過邁來芯專有Triaxis技術(shù)沿XYZ軸檢測(cè)到的磁通密度成比例，并且還提供溫度輸出信號(hào)。當(dāng)MLX90393作為總線上的從器件時(shí)，將通過I2C和SPI提供上述數(shù)字值。 選擇待測(cè)量的軸后，可以將其原始數(shù)據(jù)作為輸入用于進(jìn)一步的后處理，例如用于操縱桿應(yīng)用、旋鈕和更復(fù)雜的3D位置感應(yīng)應(yīng)用。該傳感器IC主要面向工業(yè)應(yīng)用和消費(fèi)類應(yīng)用，超強(qiáng)性能無與倫比。 ?
? MLX90395 ? MLX90395 Triaxis磁性節(jié)點(diǎn)是一個(gè)微型傳感器IC，可感測(cè)IC磁通密度的三個(gè)正交分量（即，BX、BY 和 BZ）以及溫度。因此，MLX90395可偵測(cè)幾乎任何移動(dòng)磁體的絕對(duì)位置。這款位置傳感器IC可用于設(shè)計(jì)面向汽車和工業(yè)應(yīng)用（采用旋轉(zhuǎn)、線性和搖桿運(yùn)動(dòng)）的新一代非接觸式位置傳感器。 ?
?5、ADI
ADA4571-2 ? ADA4571-2是一款雙通道各向異性磁阻(AMR)傳感器，集成信號(hào)調(diào)理放大器和ADC驅(qū)動(dòng)器。該器件產(chǎn)生模擬輸出，指示周圍磁場(chǎng)的角位置。每個(gè)通道在一個(gè)封裝內(nèi)集成兩個(gè)芯片：一個(gè)AMR傳感器和一個(gè)可變?cè)鲆?a target="_blank">儀表放大器。ADA4571-2提供與旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)角度相關(guān)的干凈且放大的每通道余弦和正弦輸出信號(hào)。輸出電壓范圍與電源電壓成比例。 ? 每個(gè)檢測(cè)通道含有兩個(gè)單獨(dú)的且互成45°角的惠斯登電橋。與IC封裝平面平行的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)提供兩路正弦輸出信號(hào)，且傳感器與磁場(chǎng)方向的角度α頻率翻倍。在與IC封裝平面平行的的均質(zhì)場(chǎng)內(nèi)，輸出信號(hào)與傳感器和磁體之間的氣隙無關(guān)。 ?
? ADA4571-2采用16引腳SOIC封裝。用于永磁同步電機(jī)(PMSM)控制與定位非接觸式角度測(cè)量與檢測(cè)磁性角位置。 ? AD22151G ? AD22151G是一款線性磁場(chǎng)傳感器，其輸出電壓與垂直施加于封裝上表面的磁場(chǎng)成比例。 ?
?6、英飛凌? TLE4999I3 ? 英飛凌聲稱TLE4999I3傳感器是世界上第一個(gè)將ASIL D汽車系統(tǒng)的兩個(gè)霍爾傳感器單片集成在一起的傳感器。將兩個(gè)傳感元件結(jié)合到一個(gè)封裝中使其具有對(duì)故障的彈性和靈活性，并且由于其冗余備份的測(cè)量通道而更加準(zhǔn)確。并且每個(gè)通道都可通過EEPROM獨(dú)立編程。 ? 根據(jù)設(shè)備的數(shù)據(jù)表，TLE4999I的兩個(gè)霍爾被稱為主霍爾探頭和子霍爾格傳感器各自產(chǎn)生獨(dú)立的測(cè)量通道，每個(gè)通道都具有獨(dú)立調(diào)節(jié)的模擬電源域和偏置單元。 ?
? 工作結(jié)溫范圍為-40°C至150°C，5.5至7 V電源電壓范圍，采用雙線雙向SICI（串行檢查和配置）接口，采用三引腳PG-SSO-3-12封裝。 ?7、美新? MMC5633NJL ?
? 三軸磁傳感器和電子電路全集成式芯片，幾乎不需要外部元件。優(yōu)越的量程和精度,最小分辨率為0.0625mG，實(shí)際響應(yīng)頻率可達(dá)1000Hz，超小的晶圓級(jí)封裝，尺寸為0.85mm x 0.85mm x 0.4mm，通過內(nèi)部Set/Reset置/復(fù)位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一。 ? 此外可以消除溫度壓力等環(huán)境因素造成的零點(diǎn)漂移，消除外磁場(chǎng)引起的剩磁和磁滯，并自帶靈敏度補(bǔ)償、溫度傳感器，具備自檢功能，待機(jī)模式耗電僅1μA。 ? MMC5883MA ?
? MMC5883MA是16位運(yùn)行模式，±8G的量程，最小分辨率為0.25mG，最大采樣率可達(dá)600Hz，具有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)的小體積封裝，尺寸為3.0mm x 3.0mm x 1.0mm。 ? 通過內(nèi)部Set/Reset置/復(fù)位磁傳感單元, 保證傳感器精度始終如一消除溫度壓力等環(huán)境因素造成的零點(diǎn)漂移，消除外磁場(chǎng)引起的剩磁和磁滯，自帶靈敏度補(bǔ)償、溫度傳感器，具備動(dòng)作識(shí)別和數(shù)據(jù)就緒的中斷功能。 ?8、國創(chuàng)智能? GC-CC-302 ? GC-CC-302A型高精度微磁傳感器是一種基于巨磁阻抗效應(yīng)和具有軸向采集特性的傳感器。通過使用專用的信號(hào)處理電路，實(shí)現(xiàn)高探測(cè)靈敏度，在環(huán)境磁場(chǎng)相對(duì)穩(wěn)定的環(huán)境中，探測(cè)噪聲水平低至20pT。該微磁傳感器可廣泛應(yīng)用于諸如磁異常探測(cè)、高精度磁測(cè)量和科學(xué)研究等。相對(duì)于其他類型的微磁傳感器，GC-CC-302A型高精度微磁傳感器具有高精度、高響應(yīng)速度、高可靠性、小型化、低功耗、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品使用模擬信號(hào)輸出，更易于與用戶大系統(tǒng)集成，同時(shí)模擬信號(hào)輸出可提供更高的響應(yīng)速率。 ?
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