高分子材料濕敏元件?
利用有機高分子材料的吸濕性能與膨潤性能制成的濕敏元件。吸濕后，介電常數(shù)發(fā)生明顯變化的高分子電介質，可做成電容式濕敏元件。吸濕后電阻值改變的高分子材料，可做成電阻變化式濕敏元件。圖2是高分子薄膜電介質電容式濕敏元件的基本結構。常用的高分子材料是醋酸纖維素、尼龍和硝酸纖維素等。高分子濕敏元件的薄膜做得極薄,一般約5000埃,使元件易于很快的吸濕與脫濕,減少了滯后誤差,響應速度快。這種濕敏元件的缺點是不宜用于含有機溶媒氣體的環(huán)境，元件也不能耐80℃以上的高溫。
金屬氧化物膜濕敏元件? 許多金屬氧化物如氧化鋁、四氧化三鐵、鉭氧化物等都有較強的吸脫水性能，將它們制成燒結薄膜或涂布薄膜可制作多種濕敏元件。把鋁基片置于草酸、硫酸或鉻酸電解槽中進行陽極氧化，形成氧化鋁多孔薄膜，通過真空蒸發(fā)或濺射工藝，在薄膜上形成透氣性電極。這種多孔質的氧化鋁濕敏元件互換性好，低濕范圍測濕的時間響應速度較快，滯后誤差小，常用于高空氣球上測濕。四氧化三鐵膠體的優(yōu)點是固有電阻低，長期置于大氣環(huán)境表面狀態(tài)不會變化，膠體粒子間相互吸引粘結緊密等。它是一種價廉物美，較早投入批量生產的濕敏元件，在濕度測量和濕度控制方面都有大量應用。