迅立光電展出了高效PERC電池 “二合一”P(pán)ECVD量產(chǎn)設(shè)備

昆山迅立光電設(shè)備有限公司（迅立光電），一家擁有國(guó)際領(lǐng)先技術(shù)的、集研發(fā)、設(shè)計(jì)、工藝、制造、銷(xiāo)售、和服務(wù)為一體的高端真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商，今天在上海SNEC光伏會(huì)展隆重展出了高效PERC電池 “二合一”P(pán)ECVD量產(chǎn)設(shè)備。迅立光電自主研發(fā)的PERC設(shè)備是國(guó)際上首臺(tái)成功使用射頻（RF）等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）制作氧化鋁和氮化硅雙層薄膜的真空鍍膜設(shè)備，代表國(guó)際最先進(jìn)水平。迅立光電技術(shù)核心是PECVD和物理氣相沉積（PVD）設(shè)備的設(shè)計(jì)和制造；高端PECVD/PVD設(shè)備也是半導(dǎo)體芯片制造行業(yè)的“核芯”設(shè)備之一，是最先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)水平的體現(xiàn)。迅立光電及其前身和關(guān)聯(lián)公司自2002年在美國(guó)創(chuàng)辦以來(lái)，在高集成PECVD/PVD設(shè)備制造方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)， 享有國(guó)際知名地位。

鈍化發(fā)射極及背面接觸（PERC）電池是目前最新型的高效太陽(yáng)能電池之一，已經(jīng)替代鋁背場(chǎng)電池而成為高效光伏電池的主流產(chǎn)品。PERC設(shè)備通過(guò)在單晶或多晶電池的背面沉積超薄氧化鋁和氮化硅雙層薄膜（背鈍化）實(shí)現(xiàn)對(duì)載流子復(fù)合中心的鈍化而實(shí)現(xiàn)電池轉(zhuǎn)化效率的提高。為了實(shí)現(xiàn)高效率和高良率的生產(chǎn)，光伏電池廠家迫切希望能將兩層薄膜在同一臺(tái)設(shè)備中一次完成 的“二合一”設(shè)備。目前，光伏設(shè)備市場(chǎng)上有昂貴的進(jìn)口“二合一”P(pán)ERC設(shè)備，也有僅能制作氧化鋁單膜的國(guó)產(chǎn)設(shè)備。迅立光電的PECVD量產(chǎn)PERC設(shè)備是首臺(tái)國(guó)產(chǎn)“二合一”的PERC設(shè)備，也是國(guó)際上首臺(tái)采用射頻PECVD工藝的PERC設(shè)備。

迅立光電自主研制開(kāi)發(fā)的高效PERC電池“二合一”板式PECVD鍍膜設(shè)備迅立光電自主研制開(kāi)發(fā)的高效PERC電池“二合一”板式PECVD鍍膜設(shè)備與光伏行業(yè)的國(guó)際龍頭企業(yè)天合光能有限公司合作，迅立光電成功地完成了量產(chǎn)PECVD背鈍化設(shè)備的初步測(cè)試，并制作了高效率PERC電池和完成了小批量示范生產(chǎn)。量產(chǎn)設(shè)備制作的單晶電池的平均轉(zhuǎn)換效率達(dá)21.3% （最高效率達(dá)21.5%）。量產(chǎn)設(shè)備制作的多晶電池的平均轉(zhuǎn)換效率達(dá)19.7% （最高效率達(dá)19.9%）。在進(jìn)一步采用超薄氧化鈍化界面層及其它工藝優(yōu)化之后，公司預(yù)計(jì)轉(zhuǎn)換效率還能得到進(jìn)一步的大幅度提高，實(shí)現(xiàn)至少21.6%的單晶電池平均效率和20%的多晶電池平均效率。

由于采用射頻PECVD工藝，迅立設(shè)備能夠有效的控制等離子體的活性分子和離子的分布，從而制作高質(zhì)量的四面體氧化鋁薄膜。迅立光電的PECVD設(shè)備制作的氧化鋁僅需10nm的薄膜就可以實(shí)現(xiàn)晶硅電池的有效背面鈍化。有效的超薄氧化鋁鈍化不僅可以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能（1.2平方米的PECVD電極可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)超過(guò)6000硅片的產(chǎn)能），又可以大大提高三甲基鋁的使用率。

采用迅立光電的背鈍化設(shè)備，迅立光電與南京日托光伏有限公司合作制作了高效MWT (metal wrap through)電池，在合作電池做了3次跨省“旅行”才完成之后，初次測(cè)試實(shí)現(xiàn)了高達(dá)20%的多晶電池轉(zhuǎn)換效率，展示了RF PECVD 背鈍化設(shè)備的巨大潛力?？梢灶A(yù)期，在結(jié)合黑硅工藝后，多晶電池的轉(zhuǎn)換效率還會(huì)有較大的提升。

采用射頻PECVD工藝還可以將最新的電池制作技術(shù)和工藝有效地集成到同一臺(tái)真空鍍膜設(shè)備中。例如，制作隧穿氧化鈍化接觸（TOPCon）電池所需要的氧化硅層和多晶硅摻雜層可以有效地集成到同一臺(tái)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)“多合一”的高集成高效率制造。

迅立光電公司董事長(zhǎng)、國(guó)家“千人計(jì)劃”特聘專(zhuān)家鄧勛明博士說(shuō)：“能夠?qū)崿F(xiàn)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)高效PERC電池二合一量產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和制作，是迅立光電團(tuán)隊(duì)和我們的合作方天合光能的技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同努力的結(jié)果。感謝天合光能與我們的合作，共同為重大設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化努力?！?/p>

迅立光電擁有國(guó)際領(lǐng)先的技術(shù)和工藝。公司積極尋找戰(zhàn)略合作伙伴謀求共同發(fā)展，盡快抓住機(jī)遇、擴(kuò)大規(guī)模、和占領(lǐng)市場(chǎng)。公司產(chǎn)品除了用于PERC電池的背鈍化沉積設(shè)備，公司還研制開(kāi)發(fā)了制造異質(zhì)結(jié)HIT電池的量產(chǎn)設(shè)備。其造價(jià)比同產(chǎn)能的進(jìn)口設(shè)備降低一半以上。迅立光電的“多合一”P(pán)ECVD 設(shè)備可以有效地用于有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）平板顯示的阻水阻氧隔膜，該隔膜的制造設(shè)備目前完全依賴(lài)進(jìn)口，是制約國(guó)產(chǎn)OLED顯示面板大規(guī)模發(fā)展的瓶頸之一。中國(guó)的平板顯示行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)該積極將核心設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，減少對(duì)國(guó)外設(shè)備行業(yè)的高度依賴(lài)。

迅力光電將于5月29日11時(shí)和16時(shí)，在上海SNEC光伏展的迅立光電展臺(tái)（E4-690）召開(kāi)新產(chǎn)品介紹會(huì)。誠(chéng)摯邀請(qǐng)業(yè)界人士、新聞媒體及潛在合作伙伴參加并提出寶貴意見(jiàn)。