我們能否用逆向技術(shù)來復(fù)制荷蘭的光刻機(jī)技術(shù)

（文章來源：網(wǎng)絡(luò)整理）

從理論上看，使用逆向技術(shù)確實可以復(fù)制荷蘭ASML的光刻機(jī)技術(shù)，但是從實際出發(fā)，這是行不通的，就算把光刻機(jī)的設(shè)計圖紙給我們，我們也無法生產(chǎn)。

其實我過從上世紀(jì)70年代就開始了光刻機(jī)的研發(fā)工作，在1985年時就研制成功了一臺g線分步投影光刻機(jī)，這比國外的同類產(chǎn)品足足晚了6年，從那以后我國也沒有放棄對光刻機(jī)的研發(fā)工作。

目前我國最先進(jìn)的光刻機(jī)就是上海微電子裝備有限公司制造的90nm工藝的光刻機(jī)，但是荷蘭ASML公司最先進(jìn)的光刻機(jī)已經(jīng)是5nm了，今年臺積電就可以做出5nm工藝制程的芯片了，而我國90nm的光刻機(jī)對于目前的芯片來說已經(jīng)不夠用了。

如果想根據(jù)ASML的光刻機(jī)復(fù)制一臺光刻機(jī)，首先需要將光刻機(jī)拆開，ASML在設(shè)計光刻機(jī)時為光刻機(jī)上了一把“鎖”，如果光刻機(jī)在它們不知道的情況下被拆開，光刻機(jī)就自動向ASML報警，所以我們也無法拆開。

在之前中國一家光刻機(jī)制造公司就去ASML公司進(jìn)行參觀，ASML公司的員工直接對我國的公司說：“即使將光刻機(jī)的設(shè)計圖紙給你們，你們也做不出”。其實這是真的，并不他們對我們的嘲諷，即使給我們設(shè)計圖紙，我們也生產(chǎn)不出頂級的光刻機(jī)。

對于一臺光刻機(jī)來說，擁有幾萬個零件，這些零件幾乎都是世界最好的。其中光刻機(jī)最重要的就是鏡頭與光源，全球范圍內(nèi)做鏡頭最好的企業(yè)就是德國的蔡司，做光源做好的就是Cymer公司，這兩家公司都已經(jīng)被荷蘭的ASML公司進(jìn)行了收購，所以蔡司與Cymer不可能再向其他的光刻機(jī)制造廠商提供鏡頭與光源。ASML要求購買它的光刻機(jī)的企業(yè)必須進(jìn)行投資，這也為ASML提供了強(qiáng)大的資金支持，其他的光刻機(jī)廠商很難進(jìn)行發(fā)展。

再加上，根據(jù)1996年歐美簽署的瓦森納協(xié)議，歐美很多高精端儀器或者配件都對我國禁運，我們即使有錢也買不到先進(jìn)的零件。

其實早在2018年中芯國際就向ASML公司購買了一臺EUV極紫外光刻機(jī)，EUV極紫外光刻機(jī)應(yīng)該是目前頂級的光刻機(jī)了，只有荷蘭的ASML公司可以生產(chǎn)，每年的產(chǎn)量也是非常有限的，但是由于歐美國家的各種原因，遲遲沒有將光刻機(jī)交給中芯國際。

臺積電應(yīng)該目前最好的芯片代工廠了，在2018年實現(xiàn)了7nm工藝制程，2019年實現(xiàn)了7 nm EUV工藝制程，今年可以實現(xiàn)5nm芯片的大規(guī)模生產(chǎn)，未來的蘋果A14處理器與華為的麒麟1020處理器都是由臺積電進(jìn)行生產(chǎn)。中芯國際也就在幾個月前才實現(xiàn)14nm的工藝制程，相較于臺積電還是非常落后的。

因為一些不可抗拒的原因，我們無法買到先進(jìn)的零件，所以也就無法生產(chǎn)出頂級的光刻機(jī)。但是因為一些政策，荷蘭ASML公司不可以向大陸出售頂級的光刻機(jī)，我們只能使用落后一代的技術(shù)。制作一臺先進(jìn)的光刻機(jī)，并不是只靠一兩個企業(yè)就可以完成的，需要整個制造業(yè)的共同努力。
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