基于平行運動學(xué)設(shè)計的N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡的結(jié)合和特點分析

N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡，是一款定制型壓電精瞄鏡，與其他壓電偏轉(zhuǎn)鏡不同的是，它具有方形的外形結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)使其更易于安裝固定。

特點

?θx、θy二維偏轉(zhuǎn) ?大角度偏轉(zhuǎn)達(dá)50mrad ?閉環(huán)分辨率達(dá)2μrad ?可選配閉環(huán)傳感器

結(jié)構(gòu)簡介

N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運動）是基于平行運動學(xué)設(shè)計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(gòu)（PZT壓電陶瓷驅(qū)動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供最高可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。

高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性

N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。壓電促動器、導(dǎo)向機構(gòu)及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。

先進的鉸鏈/杠桿設(shè)計將慣性最小化，允許50mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍（可將光束偏轉(zhuǎn) 100mrad），且具有非?？斓捻憫?yīng)速度，在毫秒級范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài)，N35還提供了微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器（SGS）實現(xiàn)了精確的位置控制，具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度，通常為滿行程的0.02%。

N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡角度測量

技術(shù)參數(shù)

型號：N35.T40S/K

運動自由度：θxθy

偏轉(zhuǎn)角度@120V：40mrad（≈8250秒）

偏轉(zhuǎn)角度@150V：50mrad（≈10300秒）

傳感器類型：SGS/-

閉/開環(huán)分辨率：2/1 μrad

閉環(huán)線性度：0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：1300Hz

帶載諧振頻率（12.7mm×3mm鏡片）：1050Hz

閉/開環(huán)階躍時間：1.4/1ms

靜電容量：14.5μF

材質(zhì)：鈦合金

重量：223g

推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器

E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器，具有3個輸出通道，可含一路恒壓輸出，非常適于驅(qū)動N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

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