政策助力光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展，我國(guó)光刻機(jī)行業(yè)研發(fā)進(jìn)度仍待加快

1、光刻機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析：在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中占據(jù)重要地位

光刻機(jī)又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類(lèi)似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最關(guān)鍵設(shè)備，光刻工藝決定了半導(dǎo)體線路的線寬，同時(shí)也決定了芯片的性能和功耗。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的上游主要包括光刻機(jī)核心組件和光刻機(jī)配套設(shè)施，下游則主要應(yīng)用于半導(dǎo)體/集成電路的制造與封裝。

2、產(chǎn)業(yè)政策：政策助力光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展

從政策環(huán)境上來(lái)看，我國(guó)對(duì)于光刻機(jī)行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在對(duì)于整個(gè)IC產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)的政策優(yōu)待以及對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的相關(guān)規(guī)劃與推動(dòng)。其主要表現(xiàn)在資金方面的補(bǔ)助和人才方面的培養(yǎng)，以及進(jìn)出口，投融資方面的政策扶持。

在各項(xiàng)政策中較為突出的是《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項(xiàng)目（02專(zhuān)項(xiàng)），其以專(zhuān)項(xiàng)的形式組織了一批國(guó)內(nèi)光刻機(jī)企業(yè)進(jìn)行了一系列重點(diǎn)工藝和技術(shù)的攻關(guān)，有效促進(jìn)了我國(guó)光刻機(jī)行業(yè)的發(fā)展。

3、光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展分析：技術(shù)仍在不斷進(jìn)步中

光刻機(jī)一般可以分為無(wú)掩模光刻機(jī)和有掩模光刻機(jī)，其具體分類(lèi)如下：

光刻工藝流程較多，占晶圓制造耗時(shí)的40%-50%，光刻技術(shù)也在不斷的發(fā)展，自光刻機(jī)面世以來(lái)，光刻設(shè)備已經(jīng)進(jìn)行了四次重大的革新，光刻設(shè)備所用的光源，也從最初的g-line，i-line歷經(jīng)KrF、ArF發(fā)展到了如今的EUV。目前，EUV光刻機(jī)設(shè)備被ASML完全壟斷，ASML的EUV光刻機(jī)市占率達(dá)到100%。

4、光刻機(jī)行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局分析：CR3超過(guò)90%

目前，全球光刻機(jī)市場(chǎng)的主要企業(yè)即ASML，尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家，從光刻機(jī)銷(xiāo)售額來(lái)看，2019年三家企業(yè)的合計(jì)市場(chǎng)份額就占到了全球光刻機(jī)市場(chǎng)的90%以上。其中ASML由于其技術(shù)領(lǐng)先，壟斷了第五代光刻機(jī)（EUV光刻機(jī)），獨(dú)占75%的市場(chǎng)份額，Nikon與Canon分別占據(jù)13%和6%的市場(chǎng)份額。

5、光刻機(jī)行業(yè)細(xì)分市場(chǎng)格局：i-line光刻機(jī)出貨最多

從細(xì)分市場(chǎng)來(lái)看，近年來(lái)，市場(chǎng)上銷(xiāo)售的光刻機(jī)主要為EUV光刻機(jī)、ArF lm光刻機(jī)、ArF Dry光刻機(jī)、KrF光刻機(jī)和i-line光刻機(jī)。從2019年這五類(lèi)光刻機(jī)的銷(xiāo)量情況來(lái)看，i-line光刻機(jī)的銷(xiāo)量最高，為116臺(tái)。在這116臺(tái)中，Canon公司貢獻(xiàn)了一半以上。

從企業(yè)的角度來(lái)看，Canon主要的光刻機(jī)銷(xiāo)售都集中在i-line光刻機(jī)這一類(lèi)型;Nikon的光刻機(jī)銷(xiāo)售則縱向跨度較大，在除EUV之外的類(lèi)型均有涉及，其中以Arf和i-line的領(lǐng)域較為突出;ASML則在除i-line光刻機(jī)之外的領(lǐng)域均具有較強(qiáng)的統(tǒng)治力。

6、全球光刻機(jī)行業(yè)供給：銷(xiāo)售量略有下降

從行業(yè)供給來(lái)看，2014-2018年，光刻機(jī)top3企業(yè)銷(xiāo)售量呈現(xiàn)波動(dòng)增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。2019年，光刻機(jī)銷(xiāo)售量有所下滑，僅為354臺(tái)，較2018年下降了3.8%。2020年第一季度，全球光刻機(jī)top3企業(yè)銷(xiāo)售量實(shí)現(xiàn)85臺(tái)。

7、國(guó)產(chǎn)企業(yè)發(fā)展：行業(yè)正在加快研發(fā)進(jìn)度

長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)的光刻技術(shù)落后于先進(jìn)國(guó)家，成為我國(guó)工業(yè)現(xiàn)代化進(jìn)程的一塊短板。近年來(lái)，在國(guó)家政策的扶持以及一批龍頭企業(yè)的帶領(lǐng)下，我國(guó)光刻機(jī)技術(shù)也開(kāi)始了飛速的發(fā)展，由長(zhǎng)春光機(jī)所牽頭承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)02專(zhuān)項(xiàng)——“極紫外光刻（EUVL）關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目也順利完成了驗(yàn)收前現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。

但我國(guó)企業(yè)在光刻機(jī)制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，光刻機(jī)行業(yè)研發(fā)進(jìn)度仍待加快。

我國(guó)光刻機(jī)相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況如下所示：

責(zé)任編輯：gt