今年以來(lái),科創(chuàng)板、5G、新基建、功率半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)領(lǐng)域一波接一波,讓人應(yīng)接不暇。近日,山東有研硅片項(xiàng)目通線量產(chǎn)以及徐州鑫晶大硅片成功下線的消息,將業(yè)界視線再次拉回到國(guó)產(chǎn)硅片領(lǐng)域,該領(lǐng)域亦一度獲得狂熱投資與重點(diǎn)關(guān)注。
硅片項(xiàng)目投資降溫 企業(yè)資源并購(gòu)整合 眾所周知,硅片(又稱硅晶圓)作為重要基礎(chǔ)材料,被視為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“糧食”。然而,目前半導(dǎo)體硅片行業(yè)仍處于高度壟斷狀態(tài),絕大部分市場(chǎng)份額被歐日韓廠商所占據(jù),我國(guó)半導(dǎo)體硅片嚴(yán)重依賴進(jìn)口,屬于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中“卡脖子”一環(huán)。 近年來(lái),在全球半導(dǎo)體硅片產(chǎn)能緊缺、價(jià)格持續(xù)上漲以及國(guó)內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線持續(xù)落地的產(chǎn)業(yè)背景下,半導(dǎo)體硅片國(guó)產(chǎn)化需求迫在眉睫,國(guó)內(nèi)多地掀起硅片投資建設(shè)熱潮,一個(gè)又一個(gè)硅片項(xiàng)目接踵而至,一時(shí)間熱鬧無(wú)比。此前有券商研報(bào)顯示,截至2019年第三季度,國(guó)內(nèi)大硅片項(xiàng)目總投資額達(dá)到1349億元,目標(biāo)產(chǎn)能合計(jì)642萬(wàn)片/月,不少業(yè)者擔(dān)心產(chǎn)能過(guò)剩。
今年以來(lái),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展依然備受關(guān)注,但我們不難發(fā)現(xiàn),國(guó)產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)遠(yuǎn)不如前些年那般熱鬧了,如仍在不斷涌現(xiàn)的巨額投資的半導(dǎo)體項(xiàng)目中,已較少看見(jiàn)硅片項(xiàng)目的身影,不復(fù)此前硅片狂熱建廠盛況,硅片項(xiàng)目投資進(jìn)入冷靜期;此外,在話題熱度方面,國(guó)產(chǎn)硅片在今年亦不如第三代半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體、射頻器件等話題受歡迎。 不過(guò),巨額項(xiàng)目投資雖有所降溫,但是在資本市場(chǎng)上硅片企業(yè)仍可見(jiàn)其活躍身影。如今年硅片企業(yè)滬硅產(chǎn)業(yè)、立昂微均成功上市,且一度股價(jià)暴漲;上海超硅獲上海集成電路產(chǎn)業(yè)基金投資等;值得注意的是,近兩年來(lái)硅片企業(yè)亦在進(jìn)行一些資源收購(gòu)整合。
首先要說(shuō)一下滬硅產(chǎn)業(yè)。去年,滬硅產(chǎn)業(yè)從上海新陽(yáng)手中收購(gòu)上海新昇26.06%股權(quán);今年5月,滬硅產(chǎn)業(yè)再次收購(gòu)上海新陽(yáng)所持有的上海新昇剩余股權(quán),上海新昇現(xiàn)已成為滬硅產(chǎn)業(yè)的全資子公司,而在這之前,硅產(chǎn)業(yè)相繼收購(gòu)了 Okmetic和上海新傲。 再如前不久,TCL科技完成收購(gòu)中環(huán)股份控股股東中環(huán)集團(tuán)100%股權(quán),并通過(guò)中環(huán)集團(tuán)間接持有中環(huán)股份25.30%股權(quán),TCL科技成為中環(huán)股份間接控股股東。至此,TCL科技正式切入硅片產(chǎn)業(yè),這讓業(yè)界對(duì)后續(xù)中環(huán)股份硅片業(yè)務(wù)的發(fā)展變化有所期待。 9月15日,日本Ferrotec控股公司宣布,批準(zhǔn)了向中國(guó)境內(nèi)有意向的投資者轉(zhuǎn)讓杭州中欣晶圓共計(jì)60%的股權(quán),交易完成后,F(xiàn)errotec控股公司仍然是杭州中欣晶圓相對(duì)間接控制方。
根據(jù)企查查資料,中欣晶圓目前已新增了多家中資股東。 可見(jiàn),在熱鬧過(guò)后,國(guó)內(nèi)硅片企業(yè)開(kāi)始進(jìn)入冷思考時(shí)期,這些收購(gòu)事件整合了國(guó)內(nèi)小而散的企業(yè)資源,有利于形成龍頭企業(yè)從而帶動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,亦在進(jìn)一步吸收外國(guó)的技術(shù)和資源,有望助力提升國(guó)產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)整體水平。 多個(gè)項(xiàng)目傳捷報(bào)國(guó)產(chǎn)化率有望提升 已經(jīng)歷“瘋狂”時(shí)期的國(guó)產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè),如今雖少了一點(diǎn)熱鬧與喧嘩,卻亦顯得多了一些理性與務(wù)實(shí),與前些年頻頻傳出巨額項(xiàng)目不同,今年不時(shí)傳來(lái)的是在建項(xiàng)目量產(chǎn)準(zhǔn)備或下線投產(chǎn)等消息,如文首提及的山東有研、徐州鑫晶等。
山東有研 10月16日,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項(xiàng)目通線量產(chǎn)儀式,宣布項(xiàng)目正式通線量產(chǎn)。該項(xiàng)目于2019年3月動(dòng)工,歷時(shí)近18個(gè)月,完成近10萬(wàn)平方米廠房的建設(shè)、1.5萬(wàn)平米潔凈廠房的安裝,并在3個(gè)月內(nèi)實(shí)現(xiàn)新購(gòu)工藝設(shè)備的安裝、北京生產(chǎn)線的搬遷及工藝調(diào)試。 山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項(xiàng)目于2018年簽約落地山東德州,一期項(xiàng)目總投資18億元,建設(shè)包括年產(chǎn)276萬(wàn)片8英寸硅片、180萬(wàn)片6英寸硅片、300噸12-18英寸大直徑硅單晶生產(chǎn)線。據(jù)悉,二期12英寸集成電路用大硅片項(xiàng)目也在積極籌備,計(jì)劃明年開(kāi)工建設(shè)。
徐州鑫晶 徐州日?qǐng)?bào)報(bào)道顯示,10月16日,徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目一期工程實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)。據(jù)了解,鑫晶半導(dǎo)體聚焦在28nm、14nm以及更先進(jìn)的10nm芯片制造所需的硅片工藝研發(fā)和制造,已實(shí)現(xiàn)12英寸半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)線貫通,并產(chǎn)出首批半導(dǎo)體硅片。 報(bào)道稱,目前鑫晶半導(dǎo)體一階段10萬(wàn)片/月的產(chǎn)能全線貫通,徐州基地已經(jīng)建成廠房能夠容納60萬(wàn)片/月的產(chǎn)能,按照公司規(guī)劃,一階段產(chǎn)品驗(yàn)證全部通過(guò)后,2021年上半年開(kāi)始繼續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)能,預(yù)計(jì)在2023年徐州基地60萬(wàn)片/月產(chǎn)能可全部投產(chǎn)。該公司的長(zhǎng)期規(guī)劃是在2025年前后通過(guò)自建或者收購(gòu)等方式達(dá)到150萬(wàn)片/月產(chǎn)能。
上海新昇 9月28日,由上海新昇承擔(dān)的“40-28nm集成電路制造用300mm硅片技術(shù)研發(fā)”項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收。通過(guò)承擔(dān)此項(xiàng)02重大專項(xiàng),上海新昇成功開(kāi)發(fā)了300mm拋光片和外延片成套制備技術(shù),完成了項(xiàng)目既定的15萬(wàn)片/年的產(chǎn)能建設(shè)目標(biāo)。據(jù)滬硅產(chǎn)業(yè)公告披露,上海新昇300mm硅片產(chǎn)能計(jì)劃2020年底達(dá)到20萬(wàn)片/月,明年可達(dá)到30萬(wàn)片/月。 滬硅產(chǎn)業(yè)半年報(bào)顯示,300mm硅片已獲得客戶認(rèn)證的產(chǎn)品規(guī)格累計(jì)超過(guò)50種;已實(shí)現(xiàn)28nm以上所有節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品認(rèn)證以及64層3D NAND產(chǎn)品驗(yàn)證;目前正在認(rèn)證或研發(fā)過(guò)程中的產(chǎn)品規(guī)格超過(guò)30種,包括應(yīng)用于14nm邏輯芯片、19nmDRAM芯片及128層3D NAND產(chǎn)品等。
中環(huán)股份 10月10日,中環(huán)股份在投資者關(guān)系互動(dòng)平臺(tái)上披露,公司總產(chǎn)能規(guī)劃8英寸105萬(wàn)片/月、12英寸62萬(wàn)片/月,目前已建成產(chǎn)能8英寸50萬(wàn)片/月、12英寸7萬(wàn)片/月,項(xiàng)目持續(xù)推進(jìn)。 中環(huán)股份在天津、無(wú)錫宜興擁有半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目。據(jù)中環(huán)股份披露的信息,天津工廠的8英寸產(chǎn)線30萬(wàn)片/月已達(dá)產(chǎn),12英寸產(chǎn)線已于2019年一季度投產(chǎn),截至二季度末產(chǎn)能2萬(wàn)片/月;無(wú)錫宜興工廠的8英寸產(chǎn)線已于2019年9月投產(chǎn),12英寸產(chǎn)線于今年8月底完成通線,年內(nèi)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能5-10萬(wàn)片/月,2021年實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能15萬(wàn)片/月。 西安奕斯偉 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司所投資建設(shè)的西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目,項(xiàng)目一期總投資110億元,第一階段產(chǎn)能達(dá)5萬(wàn)片/月生產(chǎn)規(guī)模,項(xiàng)目最終計(jì)劃建成月產(chǎn)能100萬(wàn)片、年產(chǎn)值超百億元的12英寸電子級(jí)硅材料企業(yè)。
今年8月17日,西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備搬入。據(jù)近期報(bào)道,該項(xiàng)目目前開(kāi)始進(jìn)行測(cè)試片批量試生產(chǎn),中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、廈門聯(lián)電等客戶正在持續(xù)認(rèn)證中。 隨著多個(gè)硅片項(xiàng)目相繼喜傳捷報(bào),8英寸、12英寸硅片的國(guó)產(chǎn)化率有望持續(xù)提高。 材料設(shè)備等亟待解決產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍面臨挑戰(zhàn) 項(xiàng)目陸續(xù)投產(chǎn),那么國(guó)產(chǎn)硅片供應(yīng)現(xiàn)狀如何?我們可看到,上文提到的主要硅片項(xiàng)目基本都是8英寸以及12英寸項(xiàng)目,事實(shí)上,國(guó)產(chǎn)硅片在6英寸及以下領(lǐng)域的研發(fā)生產(chǎn)上較為成熟,已擁有一定國(guó)產(chǎn)化率。 據(jù)華潤(rùn)微去年披露的招股書,2016年、2017年、2018年、2019年1-6月,其前五大原材料(硅片)供應(yīng)商中基本以國(guó)產(chǎn)硅片廠商為主,其中浙江金瑞泓、南京國(guó)盛電子一直為位列前兩名(詳見(jiàn)下圖)。據(jù)了解,華潤(rùn)微的晶圓制造產(chǎn)能以6英寸為主,其6英寸生產(chǎn)線產(chǎn)能在國(guó)內(nèi)居于前列,而其供應(yīng)商陣容側(cè)面反映出我國(guó)6英寸硅片早已進(jìn)入國(guó)內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線。
圖片來(lái)源:截圖于華潤(rùn)微招股書 然而,目前8英寸、12英寸硅片已逐漸成為市場(chǎng)主流,相較于6英寸及以下硅片,8英寸、12英寸硅片的國(guó)產(chǎn)化率仍較低,尤其是12英寸硅片,這導(dǎo)致了我國(guó)硅片整體國(guó)產(chǎn)化率較低。盡管目前部分項(xiàng)目已取得階段性成果,但是國(guó)產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍面臨較大挑戰(zhàn)。 首先,在上游原材料方面,我國(guó)應(yīng)用于8英寸以上硅片和高品質(zhì)的電子級(jí)多晶硅仍主要依靠進(jìn)口,這部分市場(chǎng)主要被日本、歐美廠商所占據(jù)。今年9月,滬硅產(chǎn)業(yè)在調(diào)研活動(dòng)上回應(yīng)關(guān)于上游原材料供應(yīng)相關(guān)問(wèn)題時(shí)表示,公司上游原材料主要是多晶硅材料,目前主要來(lái)自美國(guó)、日本、韓國(guó)和德國(guó)。
有獨(dú)無(wú)偶,硅片生產(chǎn)線所需設(shè)備方面亦主要來(lái)自于海外供應(yīng)商。目前,雖然國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商在單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)等方面均已有研發(fā)和生產(chǎn),但是質(zhì)量、精度等整體水平與進(jìn)口設(shè)備存在差距。滬硅產(chǎn)業(yè)在調(diào)研中亦指出,公司拉晶爐目前主要采購(gòu)自海外,少部分來(lái)自國(guó)內(nèi)。 滬硅產(chǎn)業(yè)坦言,本土的設(shè)備和原材料供應(yīng)商因?yàn)槠鸩捷^晚,確實(shí)與國(guó)外主流供應(yīng)商還存在一定差距,且主要設(shè)備和原材料供應(yīng)商的更換同時(shí)還涉及客戶認(rèn)證與溝通,目前公司也在積極推進(jìn)部分本土設(shè)備和原材料的認(rèn)證。
再者,硅片生產(chǎn)本身具有較高的技術(shù)門檻,生產(chǎn)工藝繁多復(fù)雜,如拉晶、切割、研磨、拋光等,且每一個(gè)程序均有著嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?,背后涉及眾多精密控制?a target="_blank">檢測(cè)保障,而中國(guó)硅片產(chǎn)業(yè)起步較晚,缺乏長(zhǎng)期技術(shù)積累、關(guān)鍵技術(shù)人才稀缺,這對(duì)于硅片企業(yè)而言亦存在挑戰(zhàn)。 此外,晶圓制造廠商對(duì)其硅片供應(yīng)商有著嚴(yán)格的認(rèn)證機(jī)制,國(guó)產(chǎn)硅片能否進(jìn)入產(chǎn)線驗(yàn)證以及驗(yàn)證能否通過(guò)仍是問(wèn)題。一位晶圓制造產(chǎn)業(yè)相關(guān)人士向筆者表示,雖然現(xiàn)在國(guó)內(nèi)已有12英寸硅片量產(chǎn),但是不少晶圓制造廠商尚不敢輕易用于產(chǎn)線量產(chǎn),有的廠商會(huì)用作空跑片。 “廠商不敢輕易用在產(chǎn)線上,萬(wàn)一有問(wèn)題可能就是幾千萬(wàn)美金的損失。”
另一位業(yè)內(nèi)人士說(shuō)道,國(guó)內(nèi)晶圓制造廠商愿意扶持上游國(guó)產(chǎn)材料發(fā)展,但這種損失風(fēng)險(xiǎn)不是誰(shuí)都承受得起的。 該人士表示,現(xiàn)在各方正在尋求解決方法,如前不久太極實(shí)業(yè)所披露的上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司擬建設(shè)12英寸集成電路研發(fā)制造用廠房及配套設(shè)施項(xiàng)目,應(yīng)該主要為了提供關(guān)鍵國(guó)產(chǎn)裝備材料產(chǎn)線級(jí)驗(yàn)證服務(wù)。 還需要提的一點(diǎn)是,由于技術(shù)門檻高、研發(fā)投入大、工藝經(jīng)驗(yàn)積累及客戶驗(yàn)證時(shí)間長(zhǎng)、折舊費(fèi)用高昂等因素,硅片企業(yè)面臨著較長(zhǎng)的投資回報(bào)期,這亦是個(gè)較大的挑戰(zhàn)。
如國(guó)產(chǎn)大硅片排頭兵上海新昇,早于2018年實(shí)現(xiàn)了12英寸硅片量產(chǎn),2019年已實(shí)現(xiàn)15萬(wàn)片/月產(chǎn)能,但是根據(jù)滬硅產(chǎn)業(yè)8月發(fā)布的半年報(bào),上海新昇仍處于虧損狀態(tài)。 挑戰(zhàn)亦往往與機(jī)遇并存,國(guó)內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線亦在持續(xù)建設(shè)、擴(kuò)產(chǎn)等,對(duì)國(guó)產(chǎn)硅片的需求不斷提升,國(guó)產(chǎn)替代空間巨大。正如上文有言,隨著各項(xiàng)目持續(xù)推進(jìn)以及建成投產(chǎn),國(guó)產(chǎn)硅片8英寸和12英寸產(chǎn)能正在逐步釋放,相信在政府支持以及市場(chǎng)需求帶動(dòng)下,硅片國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程將進(jìn)一步加快。 但是,國(guó)產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)的崛起,必將是一個(gè)非常漫長(zhǎng)且需要大量資金投入的過(guò)程。
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