三星攜手ASML開發(fā)下一代EUV光刻機方面的合作

據(jù)報道，三星正尋求加強與荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML的技術(shù)和投資合作。

該報道稱，包括CEO Peter Burnink在內(nèi)的ASML高管于上周訪問了三星的半導(dǎo)體工廠，討論了在EUV光刻機供應(yīng)和開發(fā)方面的合作。

ASML高管與三星副董事長金基南進行了會談。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，三星在此次會談中要求ASML供應(yīng)更多的EUV光刻機，并討論了雙方在開發(fā)下一代EUV光刻機方面的合作。

據(jù)悉，三星需要更多的EUV光刻機來擴大其在全球晶圓制造市場的份額。然而，作為世界上唯一的EUV光刻機制造商，ASML向臺積電提供的設(shè)備要多于三星。

因此三星希望與ASML建立技術(shù)聯(lián)盟，以確保下一代EUV光刻機的供應(yīng)。對于ASML來說，與三星的投資合作是必要的，因為開發(fā)下一代EUV光刻機需要大量投資。

該報道指出，三星希望投資開發(fā)高數(shù)值孔徑的EUV光刻機，以提高半導(dǎo)體微制造所需的電路分辨率。該設(shè)備的價格預(yù)計為每臺5000億韓元，比目前的EUV設(shè)備高出2到3倍。ASML計劃在2023年年中推出該設(shè)備的原型，三星則希望優(yōu)先獲得ASML的供應(yīng)，以在技術(shù)上領(lǐng)先臺積電。

不過，三星一位官員表示，會議并沒有做出具體的投資決定。他說，ASML高管到訪三星是為了回應(yīng)李在镕10月份訪問ASML總部。

另有消息稱，ASML的高管此次還會面了SK海力士總裁李石熙，雙方討論了擴大UV設(shè)備供應(yīng)和促進合作的途徑。
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