芯片是如何被點(diǎn)沙成晶的呢?看似無(wú)關(guān)且不起眼的沙子,富含二氧化硅,而二氧化硅通過(guò)高溫加熱、純化、過(guò)濾等工藝,可從中提取出硅單質(zhì),然后經(jīng)特殊工藝鑄造變成純度極高的塊狀單晶硅,稱(chēng)作單晶硅棒(Crystal Ingot)。單晶硅棒根據(jù)用途被切割成0.5mm-1.5mm厚度的薄片,即成為芯片的基本原料,硅晶圓片,這便是“晶圓(Wafer)”。
小編將為大家介紹一下芯片制造流程:
1.制作晶圓。使用晶圓切片機(jī)將硅晶棒切割出所需厚度的晶圓。
2.晶圓涂膜。在晶圓表面涂上光阻薄膜,該薄膜能提升晶圓的抗氧化以及耐溫能力。
3.晶圓光刻顯影、蝕刻。使用紫外光通過(guò)光罩和凸透鏡后照射到晶圓涂膜上,使其軟化,然后使用溶劑將其溶解沖走,使薄膜下的硅暴露出來(lái)。
4.離子注入。使用刻蝕機(jī)在裸露出的硅上刻蝕出N阱和P阱,并注入離子,形成PN結(jié)(邏輯閘門(mén));然后通過(guò)化學(xué)和物理氣象沉淀做出上層金屬連接電路。
5.晶圓測(cè)試。經(jīng)過(guò)上面的幾道工藝之后,晶圓上會(huì)形成一個(gè)個(gè)格狀的晶粒。通過(guò)針測(cè)的方式對(duì)每個(gè)晶粒進(jìn)行電氣特性檢測(cè)。
6.封裝。將制造完成的晶圓固定,綁定引腳,然后根據(jù)用戶的應(yīng)用習(xí)慣、應(yīng)用環(huán)境、市場(chǎng)形式等外在因素采用各種不同的封裝形式;同種芯片內(nèi)核可以有不同的封裝形式
整合自:上海海思技術(shù)、百度經(jīng)驗(yàn)、39度
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